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露光装置

露光装置の記事一覧

全62件中 31〜40件目を表示

  • キヤノン，露光装置向けソリューションサービス開始

    キヤノンは，半導体露光装置のサポートノウハウと，露光工程を含む半導体製造に関する膨大なデータを統合することで，サポート業務の効率化と，最適なプロセスの提案を実現するソリューションプラットフォーム「Lithography ...

    2022.09.12

  • キヤノン，FPD露光装置を発売

    キヤノンは，第8世代ガラス基板（2,200×2,500mmサイズのガラス基板）に対応したFPD（フラットパネルディスプレー）露光装置の新製品として，1.5µm（L／S）の解像力と±0.35µmの重ね合わせ（オーバーレイ）...

    2022.07.26

  • キヤノン，KrF露光装置の生産向上オプション発売

    キヤノンは，半導体露光装置KrFスキャナー「FPA-6300ES6a」の生産性向上オプション「Grade10」を2022年8月上旬に発売すると発表した（ニュースリリース）。 半導体デバイスの需要が拡大しているなか，半導体...

    2022.06.14

  • ニコン，8G対応FPD露光装置を発売

    ニコンは，多様な高精細パネルの生産が可能な，第8世代プレートサイズ対応のFPD露光装置「FX-88S」を発売すると発表した（ニュースリリース）。 スマートデバイスやハイエンドモニターなどに用いられる中小型パネルは，折り畳...

    2022.04.05

  • SCREEN，次世代パターン用直接描画装置を開発

    SCREENホールディングスは，高精細パターン形成に対応する次世代パターン用直接描画装置「LeVina（レビーナ）」を開発。2022年4月から販売を開始することを発表した（ニュースリリース）。 近年，DX（デジタルトラン...

    2022.01.13

  • ギガフォトン，最新モデルKrF光源の量産を開始

    ギガフォトンは，新型KrF露光装置用光源「G60K」の量産を開始したと発表した（ニュースリリース）。 世界的な半導体不足が依然として続く中，RF通信処理や車載半導体等に使われる40nm以前の成熟したノードへの半導体需要増...

    2021.12.07

  • ギガフォトン，最先端液浸露光光源が本格稼働

    ギガフォトンは，最先端ArF液浸リソグラフィ光源「GT66A」が，世界の半導体メーカーで本格的に稼働していることを発表した（ニュースリリース）。 昨今，デジタル機器やクラウド設備が世界規模で急速に増加し，これらに使われる...

    2021.11.02

  • ニコン，中小型パネル向け露光装置を発売

    ニコンは10月26日，中小型パネル対応のFPD露光装置「FX-6AS」を発売すると発表した（ニュースリリース）。 スマートデバイスや，VR，AR機器などに用いられるディスプレーは，高精細化とともに，薄型化やフレキシブル化...

    2021.10.26

  • ニコン，半導体デバイス用ArF液浸スキャナー開発

    ニコンは，高い重ね合わせ精度と高スループットを実現し，最先端の半導体デバイス製造に対応するArF液浸スキャナー「NSR-S636E」の開発を進め，2023年の発売を予定している（ニュースリリース）。 DX（デジタルトラン...

    2021.10.20

  • TEL，次世代EUV露光装置に塗布現像装置を導入

    東京エレクトロン（TEL）は，蘭imec-ASML joint high NA EUV research laboratory（imec-ASML，共同高NA EUV研究所）にて，2023年より稼動予定の次世代高NA E...

    2021.06.11

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