収差2—波面収差—

4.2.6　波面収差 縦収差から横収差まで，我々は光線の数を増やしながら収差を評価してきた。Sagittalとmeridional結像の利用は今のような計算機のない時代の最大の工夫であったと言えよう。ただ，この両者で収差 […]

2023年10月26日 光工学の実際
光工学の実際　第17回 著者：ASリソグラフィコンサルティング　鈴木章義

収差1

4.　収差 ここまで我々は結像が理想的に行われるとして話を進めてきた。しかし実際の光学系では点Aと点Bが結像関係にあると言っても，種々の誤差のためA点を出た光の総てがBを通るとは限らない。実際の光線の点Bからのずれを収差 […]

2023年09月25日 光工学の実際
光工学の実際　第16回 著者：ASリソグラフィコンサルティング　鈴木章義

像形成の物理光学5　—パターンとの相関—

3.7　結像パターンの特性 結像理論では光学系の設定が像に与える影響をコントラストやILSといった指標をもとに分析してきた。光学系とともに重要なのが結像パターン自体の特性である。コンピュータ技術の発達で今では複雑な画像を […]

2023年08月23日 光工学の実際
光工学の実際　第15回 著者：ASリソグラフィコンサルティング　鈴木章義

像形成の物理光学4　—パーシャリーコヒーレント結像とMTF—

3.6.3.3　パーシャリーコヒーレント結像 前章ではコヒーレント結像での点光源の特性を解析した。光源の位置，物体の空間周波数sによって光学系を通過する様子は大きく変わる。点光源の位置をずらしながら点数を増やしてインコヒ […]

2023年07月24日 光工学の実際
光工学の実際　第14回 著者：ASリソグラフィコンサルティング　鈴木章義

像形成の物理光学3　—コヒーレント結像—

3.6　コヒーレンス結像論 光が干渉性を持つ電磁波で挙動がsin，cosのような正弦波関数を用いて記述できることは素晴らしいことである。世の中には時間や空間で単純な経過や拡がりで記述される現象と時間軸の周波数や干渉縞の空 […]

2023年06月28日 光工学の実際
光工学の実際　第13回 著者：ASリソグラフィコンサルティング　鈴木章義

像形成の物理光学2　—Fraunhofer回折—

3.4　Fraunhofer回折 3.4.1　回折パターンの計算 R. P. Feynmanが量子電磁力学を一般向けに論じた本でミラー反射を取りあげている1）。説明ではミラーからは正反射を行う部分だけでなく，あらゆる位置 […]

2023年05月26日 光工学の実際
光工学の実際　第12回 著者：ASリソグラフィコンサルティング　鈴木章義

像形成の物理光学1

3.　像形成の物理光学 幾何光学の章では理想的な結像がどのように行われるかについて説明した。光にはもう一つの見方として物理光学があり，光工学では両者をミックスして考えねばならない。本章では結像における物理光学の根幹をなす […]

2023年05月08日 光工学の実際
光工学の実際　第11回 著者：ASリソグラフィコンサルティング　鈴木章義

幾何光学4—近軸光学3—

2.7　FナンバーとNA 焦点距離と入射瞳が決まると光学系を通過する光束の状態が分かり，軸上での明るさや解像性能の指標となるFナンバー（F#）が定義できる。F#はカメラの交換レンズで焦点距離に併記される重要性能である。F […]

2023年03月27日 光工学の実際
光工学の実際　第10回 著者：ASリソグラフィコンサルティング　鈴木章義

幾何光学3—近軸光学2—

2.5.4　近軸追跡 近軸追跡は光学系を数値的に扱う基本である。この計算法さえ覚えておけば，レンズの基本的な量は殆ど計算できる。 まずレンズデータを作る。例として接合レンズもあるTessar型と呼ばれるf50 mm/F2 […]

2023年03月06日 光工学の実際
光工学の実際　第9回 著者：ASリソグラフィコンサルティング　鈴木章義

幾何光学2—近軸光学1—

2.4　結像とは 結像とはどういう意味かを考えてみる。均質な空間に異なる点AとBがある時，AからBにいたる光線は2点を直線でつないだ1本である。ところが光学素子の光を曲げる機能を用いると，図14に示す特殊状態を実現できる […]

2023年02月08日 光工学の実際
光工学の実際　第8回 著者：ASリソグラフィコンサルティング　鈴木章義