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3D白色干渉顕微鏡による三次元表面性状測定とその応用

近年の微細加工における精度の向上は目覚ましく,加工部品の表面に仕上げ加工を施し,機能性を付すことで付加価値を高めるプロセスが広く実用化されている。例えば表面加工によって摩擦を低減,または付加することで部品同士の動力伝達を […]

光の基本的なパラメータの定義から,波長特性,光学素子,幾何光学など,光工学を操る上で欠かせない物理や知識を,基礎から丁寧に解説します。

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収差6—ディストーションと色収差—

4.3.6 歪曲収差 Seidelの基本収差の最後は歪曲収差(ディストーション)である。歪曲収差は1点1点が理想的に結像しても全体としては像が歪む収差である。像面湾曲が画面内における近軸フォーカス位置の差であるのに対し, […]

収差5—非点収差と像面湾曲—

4.3.4 像面の収差 光の特徴の一つは2次元的な結像処理,即ち複数点を同時に処理できる能力である。球面収差とコマ収差は望遠鏡や顕微鏡のように観察対象を画面の中心に持ってきて観察するタイプの,画角の小さい結像を重視する装 […]

収差4—コマ収差—

4.3.3 コマ収差 軸上で球面収差が取れていれば良い結像が保証されるかというと,事はそれほど単純ではない。実際Abbeは顕微鏡対物レンズの設計に際し,球面収差補正だけで像が良くならないことに腐心した。光軸外で発生する収 […]

収差3—球面収差—

4.3 収差各論 収差が数式的にどのように分類されるかについては明確になった。本章では,主要と分類された幾つかの収差がどのような性質を持っているかについて個別に説明する。 4.3.1 収差の式の展開 Seidelの5収差 […]

収差2—波面収差—

4.2.6 波面収差 縦収差から横収差まで,我々は光線の数を増やしながら収差を評価してきた。Sagittalとmeridional結像の利用は今のような計算機のない時代の最大の工夫であったと言えよう。ただ,この両者で収差 […]

収差1

4. 収差 ここまで我々は結像が理想的に行われるとして話を進めてきた。しかし実際の光学系では点Aと点Bが結像関係にあると言っても,種々の誤差のためA点を出た光の総てがBを通るとは限らない。実際の光線の点Bからのずれを収差 […]

像形成の物理光学5 —パターンとの相関—

3.7 結像パターンの特性 結像理論では光学系の設定が像に与える影響をコントラストやILSといった指標をもとに分析してきた。光学系とともに重要なのが結像パターン自体の特性である。コンピュータ技術の発達で今では複雑な画像を […]

像形成の物理光学4 —パーシャリーコヒーレント結像とMTF—

3.6.3.3 パーシャリーコヒーレント結像 前章ではコヒーレント結像での点光源の特性を解析した。光源の位置,物体の空間周波数sによって光学系を通過する様子は大きく変わる。点光源の位置をずらしながら点数を増やしてインコヒ […]

像形成の物理光学3 —コヒーレント結像—

3.6 コヒーレンス結像論 光が干渉性を持つ電磁波で挙動がsin,cosのような正弦波関数を用いて記述できることは素晴らしいことである。世の中には時間や空間で単純な経過や拡がりで記述される現象と時間軸の周波数や干渉縞の空 […]

像形成の物理光学2 —Fraunhofer回折—

3.4 Fraunhofer回折 3.4.1 回折パターンの計算 R. P. Feynmanが量子電磁力学を一般向けに論じた本でミラー反射を取りあげている1)。説明ではミラーからは正反射を行う部分だけでなく,あらゆる位置 […]