レンズ設計には長い歴史がある。過去の様々な構成データ集は光学設計者にとって宝物である。固有名詞の付いた歴史に残る名レンズもある。設計者の間では良いレンズは光路図や断面図も美しいと言われる。望遠鏡，カメラ，顕微鏡の歴史については個別に優れた解説があるので別の本や文献に委ねることにする1～4）。
本章では光工学で扱うスポット的なトピックスを取り上げる。単純なデータ紹介になる箇所もあるが実際の設計に当たって重要な数値である。
光学設計には色々なパラメータがある。波長については最初の章で紹介したが，実際の装置化では既存システムの数値を知りたい場合にしばしば遭遇する。本章では先ず画面サイズを見てみる。
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6.4 光計測の分解能 光で画像を使う計測系の分解能について考えてみる。本連載第12回3.5節で光学系の解像性能について述べた。分解能というと直ぐにRayleighの式といわれる0.61λ/NAが想起される。本連載第26…
6. 高精度光計測 光の大きな応用分野に光計測がある。ここまでは光工学の主要素として結像を主に論じてきた。光計測も別の主要素の一つで，結像も含め，光速，直進性，波長，偏光，色による物質との関係など，光の持っているあらゆる…
5.7 偏光 偏光は異方性のある結晶や偏光子を使わないと検出できない現象で研究スタートが比較的遅れた分野である。しかし現在，偏光サングラスは極めてポピュラーな存在となり，偏光顕微鏡を始めとする観察への応用以外でも，偏光は…
5.6.3 円弧照明光学系 投影光学系が6枚で構成されているように，EUVでは照明系も少ない枚数で構成することが求められる。一方，本連載第26回5.4.2項の表11に示したように，照明系は多岐な要求を実現することを求めら…
5.6 EUV光学系 半導体露光装置は光による微細加工の代表例である。微細加工における最小解像線幅Rはこれまで何度も出てきた関係式 （39） で示される。式（39）はRayleighの式と言われ，Rを小さくするには短…
