像形成の物理光学2　—Fraunhofer回折—

3.4　Fraunhofer回折 3.4.1　回折パターンの計算 R. P. Feynmanが量子電磁力学を一般向けに論じた本でミラー反射を取りあげている1）。説明ではミラーからは正反射を行う部分だけでなく，あらゆる位置 […]

2023年05月26日 光工学の実際
光工学の実際　第12回 著者：ASリソグラフィコンサルティング　鈴木章義

像形成の物理光学1

3.　像形成の物理光学 幾何光学の章では理想的な結像がどのように行われるかについて説明した。光にはもう一つの見方として物理光学があり，光工学では両者をミックスして考えねばならない。本章では結像における物理光学の根幹をなす […]

2023年05月08日 光工学の実際
光工学の実際　第11回 著者：ASリソグラフィコンサルティング　鈴木章義

幾何光学4—近軸光学3—

2.7　FナンバーとNA 焦点距離と入射瞳が決まると光学系を通過する光束の状態が分かり，軸上での明るさや解像性能の指標となるFナンバー（F#）が定義できる。F#はカメラの交換レンズで焦点距離に併記される重要性能である。F […]

2023年03月27日 光工学の実際
光工学の実際　第10回 著者：ASリソグラフィコンサルティング　鈴木章義

幾何光学3—近軸光学2—

2.5.4　近軸追跡 近軸追跡は光学系を数値的に扱う基本である。この計算法さえ覚えておけば，レンズの基本的な量は殆ど計算できる。 まずレンズデータを作る。例として接合レンズもあるTessar型と呼ばれるf50 mm/F2 […]

2023年03月06日 光工学の実際
光工学の実際　第9回 著者：ASリソグラフィコンサルティング　鈴木章義

幾何光学2—近軸光学1—

2.4　結像とは 結像とはどういう意味かを考えてみる。均質な空間に異なる点AとBがある時，AからBにいたる光線は2点を直線でつないだ1本である。ところが光学素子の光を曲げる機能を用いると，図14に示す特殊状態を実現できる […]

2023年02月08日 光工学の実際
光工学の実際　第8回 著者：ASリソグラフィコンサルティング　鈴木章義

幾何光学1—基本法則—

2.　幾何光学 2.1　Fermatの原理 本章では結像について取り扱う。光の結像は光が起こす最も有用な現象の一つである。光の伝播を表わす方法は色々あるが，光線を使う表記が直感的で分かり易い。空間内の点Aから点Bの間が停 […]

2023年01月06日 光工学の実際
光工学の実際　第7回 著者：ASリソグラフィコンサルティング　鈴木章義

光学素子3—結晶，ミラー—

1.3.3　結晶 光学ガラスは製造過程で均質性を保つために結晶化を防ぐ。一方，結晶には構造に基づくクセはあるがガラスのように透過率も均質性もよい材料があり，製造面での難しさはあるものの，光学素子として使用される。前回の表 […]

2022年12月05日 光工学の実際
光工学の実際　第6回 著者：ASリソグラフィコンサルティング　鈴木章義

光学素子2—光学ガラス—

1.3.2　光学ガラス 環境の影響がわかったので，次は具体的な光学素子を扱ってみる。 まずは透過素子であるが，光工学で使用されている主はガラスと結晶で，最近ではプラスチックも頻繁に使われるようになってきた。 ガラスは図6 […]

2022年10月20日 光工学の実際
光工学の実際　第5回 著者：ASリソグラフィコンサルティング　鈴木章義

光学素子1—環境—

1.3　光学素子 光工学で主に使う素子はレンズとミラーである。すべてのエンジニアリングは最終的に材料が適用限界を決める。光工学で使う材料はガラス，結晶，ミラー材料，プラスチックなどで，メカ設計に比べ種類が少なく，制約が大 […]

2022年09月22日 光工学の実際
光工学の実際　第4回 著者：ASリソグラフィコンサルティング　鈴木章義

光とは—波長特性について3／紫外領域—

1.2.3　紫外領域 紫外（UV）領域は可視域から外れるので主な応用は加工と計測分野になる。紫外領域はX線領域に行くまでの広い範囲をカバーするが，表4に示すように赤外とは呼び方が異なり，大きくはUV-A，UV-B，UV- […]

2022年08月25日 光工学の実際
光工学の実際　第3回 著者：ASリソグラフィコンサルティング　鈴木章義