科学・技術

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3D白色干渉顕微鏡による三次元表面性状測定とその応用

近年の微細加工における精度の向上は目覚ましく,加工部品の表面に仕上げ加工を施し,機能性を付すことで付加価値を高めるプロセスが広く実用化されている。例えば表面加工によって摩擦を低減,または付加することで部品同士の動力伝達を […]

公大ら,3C-SiCの高い熱伝導率を実証

大阪公立大学と米イリノイ大学,エア・ウォーター,東北大学,米ジョージア工科大学は,半導体材料3C-SiCが理論値に相当する高い熱伝導率を示すことを,熱伝導率の評価と原子レベルの解析から初めて実証した(ニュースリリース)。 […]