ニコン、光学系再設計でスループット40％向上のデジタル露光装置を来春発売
ニコンは、半導体アドバンストパッケージング向けのデジタル露光装置「DSP-110」を2027年4月に発売すると発表した（ニュースリリース）。解像度1.5µm（L/S）に対応し、光学系の再設計によって、従来機「DSP-10...
2026.10.19露光装置
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