ウシオ電機は、ウエハー向け一括投影露光装置UX-4シリーズの新製品として、φ6/φ8インチに対応し、解像力L/S=2.8μmと重ね合わせ精度向上を実現させた「UX-45114SC」を、2026年Q1より受注開始すると発表した（ニュースリリース）。
近年、これらのデバイスの高性能化の要求に伴い、微細化が進んでいる。また、チップの生産性向上のためウエハーの大口径化を狙い、φ6/φ8インチ化も進んでいる状況。それらのニーズに応えるため、従来とは違った特殊光学顕微鏡を採用することにより、φ6/φ8インチに対応し、解像力L/S=2.8μmに加え、重ね合わせ精度を改善したUX-45114SCの開発に成功したという。
これにより、IoTや5G、モビリティーの進化に不可欠な次世代の電子デバイスのウエハー大型化や高精度化したレイヤーに対して、高スループットを維持したまま解像力と重ね合わせ精度を向上することで、従来と同等以上の生産性かつ高い歩留まりが実現できるとしている。
■主な特長は以下の通り
・一括投影露光：マスクダメージレス 高生産性120WPH
・深い焦点深度 ：3D表面形状への露光、厚膜レジスト露光
・自動化対応 ：インライン、オンライン、OHT・AGV対応
・解像力：L/S = 2.8μm
・重ね合わせ精度を改善
・水銀レス、LED光源対応
