ウシオ、光電融合デバイスでも実績がある、一括投影露光装置の最新モデルを受注へ

ウシオ電機は、ウェハ向け一括投影露光装置UX-4シリーズの新製品として、LED光源を搭載した「UX-44101SCB」および「UX-45114SCB」を開発し、2026年7月より受注を開始する（ニュースリリース）。UX-4シリーズは、パワー半導体やMEMS、通信・光電融合関連デバイスなどの生産効率を向上させる装置として長年の導入実績を持つ、一括投影方式の露光装置である。

近年、半導体産業において化学物質に関する環境規制が強化される中、露光装置の光源でもLED化が模索されてきたが、高い露光量を要するレイヤーでは照度不足による露光時間の延長が課題となっていた。同社は、創業以来培ってきた固体光源の設計技術をベースに、従来の水銀ランプと同等の照度を達成したLED光源ユニットを開発し、新機種への搭載に成功した。これにより、IoTや5G、モビリティの進化に伴いウェハの大型化や高精度化が進む次世代電子デバイスにおいて、高い露光量が必要なバンプ（Bump）形成やウェハレベルパッケージング（WLP）といった工程でも、水銀ランプと同等の高スループットを維持できる。

さらに、LED光源の採用により、露光時の瞬時点灯・消灯が可能になったほか、光源の長寿命化によって装置導入後のランニングコストも大幅に削減される。主な仕様として、UX-44101SCBは4インチウェハに対応し、UX-45114SCBは6インチおよび8インチウェハに対応する。いずれも波長はi線で、120WPH以上の高い生産性を実現している。