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MEMSの記事一覧

全37件中 1〜10件目を表示

  • 農工大ら，室温動作する広帯域テラヘルツセンサ開発

    東京農工大学，中国科学院，兵庫県立大学は，シリコン素材を用いて室温動作可能であり高速・高感度で広帯域検出可能なテラヘルツMEMSボロメータの開発に成功した（ニュースリリース）。 テラヘルツ（THz）計測技術の社会実装を進...

    2025.07.18

  • 京セラ，カメラ‐LiDARフュージョンセンサを開発

    京セラは，世界で初めてカメラとLiDARの光軸を一致させ，ワンユニット化した「カメラ-LiDARフュージョンセンサ」を開発したと発表した（ニュースリリース）。 自動運転など，モビリティの自律化に向けてさまざまなセンシング...

    2024.11.11

  • 東北大， ダイヤモンド量子センサーで応力センシング

    東北大学の研究グループは，ナノメートルサイズのダイヤモンド（ナノダイヤモンド）結晶をシリコン振動子上に固定し，ODMR法により振動子上の応力をモニタする技術を開発した（ニュースリリース）。 近年，単結晶ダイヤモンドの加工...

    2024.08.23

  • ラムリサーチ，パルスレーザー成膜装置を発売

    米ラムリサーチは，次世代MEMS技術によるマイクおよび無線周波数（RF）フィルターを実現する，世界初の量産向けパルスレーザー成膜（PLD）装置を発表した（ニュースリリース）。 この製品のシステムは，スカンジウム含有量の最...

    2024.04.02

  • 浜ホト，UVに高感度の小型・低価格の分光器を開発

    浜松ホトニクスは，独自の微小電気機械システム（MEMS）技術や光半導体素子の製造技術を応用し，紫外光（UV）に高い感度を持つ小型・低価格の「ミニ分光器マイクロシリーズ C16767MA」を開発した（ニュースリリース）。1...

    2023.11.01

  • santec，波長・帯域幅可変フィルタを開発

    santecグループは，各種光信号スペクトルに応じて最適なフィルタ帯域に動的に調整できるFlexible transmission rate「波長・帯域幅可変フィルタ （MTF-VB）」を開発した（ニュースリリース）。2...

    2023.10.02

  • ニコン，縮小投影倍率5倍i線ステッパーを発売

    ニコンは，パワー半導体，通信用半導体，MEMSなど様々なデバイスに対応し，同社の既存のi線露光装置との互換性が高い縮小投影倍率5倍i線ステッパー「NSR-2205iL1」を発売すると発表した（ニュースリリース）。 電気自...

    2023.09.05

  • 2025年MEMS世界市場，2兆360億円に拡大

    矢野経済研究所は，MEMS技術やMEMSデバイス世界市場を調査し，材料別や微細加工技術別，デバイス分類別，システム（需要分野）別，IDM・ファウンドリー別の動向，研究機関の動向，将来展望などを明らかにした（ニュースリリー...

    2023.01.18

  • JAISTら，グラフェンで低電圧・急峻動作NEMS実現

    北陸先端科学技術大学院大学（JAIST）とデンマーク工科大学らは，単層グラフェン膜で作製した両持ち梁を，0.5V未満の超低電圧で機械的に上下させ，5万回繰り返しても安定動作するNEMS（ナノ電子機械システム）スイッチの開...

    2023.01.10

  • SCREEN，ウエハー外観検査装置を発売

    SCREENセミコンダクターソリューションズは，次世代パワーデバイスやCIS，MEMSなどのパターン検査に対応するウエハー外観検査装置「ZI-3600」の販売を11月から開始することを発表した（ニュースリリース）。 近年...

    2022.11.15

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