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MEMSの記事一覧

全41件中 1〜10件目を表示

  • 東北大、MEMSでダイヤモンド光デバイスの共鳴波長制御に成功

    東北大学は、超ナノ微結晶ダイヤモンド（UNCD）製フォトニック結晶とMEMSアクチュエータを集積した新しいダイヤモンド光デバイスを開発し、MEMSによる機械的変形を用いて共鳴波長を制御することに成功した（ニュースリリース...

    2026.06.18

  • ウシオ、光電融合デバイスでも実績がある、一括投影露光装置の最新モデルを受注へ

    ウシオ電機は、ウェハ向け一括投影露光装置UX-4シリーズの新製品として、LED光源を搭載した「UX-44101SCB」および「UX-45114SCB」を開発し、2026年7月より受注を開始する（ニュースリリース）。UX-...

    2026.06.08

  • 東北大、単層シリコン基板で6G向けテラヘルツ光スイッチを実証

    東北大学大学院工学研究科・教授の金森義明氏らの研究グループは、次世代の6G通信への応用が期待されるテラヘルツ帯で動作する光スイッチの開発に成功した（ニュースリリース）。このデバイスは、微小な機械構造を駆動するMEMS技術...

    2026.05.08

  • 日本学士院賞に伊賀健一氏、小山二三夫氏、江刺正喜氏など―VCSELとMEMSの先駆的研究を評価

    日本学士院は2026年3月12日、第1197回総会において、学術上の功績が顕著な科学者を顕彰する「日本学士院賞」を決定した。今回の受賞者には、光技術およびマイクロシステム分野において革新的な業績を挙げた、東京科学大学（旧...

    2026.03.19

  • 農工大ら，室温動作する広帯域テラヘルツセンサ開発

    東京農工大学，中国科学院，兵庫県立大学は，シリコン素材を用いて室温動作可能であり高速・高感度で広帯域検出可能なテラヘルツMEMSボロメータの開発に成功した（ニュースリリース）。 テラヘルツ（THz）計測技術の社会実装を進...

    2025.07.18

  • 京セラ，カメラ‐LiDARフュージョンセンサを開発

    京セラは，世界で初めてカメラとLiDARの光軸を一致させ，ワンユニット化した「カメラ-LiDARフュージョンセンサ」を開発したと発表した（ニュースリリース）。 自動運転など，モビリティの自律化に向けてさまざまなセンシング...

    2024.11.11

  • 東北大， ダイヤモンド量子センサーで応力センシング

    東北大学の研究グループは，ナノメートルサイズのダイヤモンド（ナノダイヤモンド）結晶をシリコン振動子上に固定し，ODMR法により振動子上の応力をモニタする技術を開発した（ニュースリリース）。 近年，単結晶ダイヤモンドの加工...

    2024.08.23

  • ラムリサーチ，パルスレーザー成膜装置を発売

    米ラムリサーチは，次世代MEMS技術によるマイクおよび無線周波数（RF）フィルターを実現する，世界初の量産向けパルスレーザー成膜（PLD）装置を発表した（ニュースリリース）。 この製品のシステムは，スカンジウム含有量の最...

    2024.04.02

  • 浜ホト，UVに高感度の小型・低価格の分光器を開発

    浜松ホトニクスは，独自の微小電気機械システム（MEMS）技術や光半導体素子の製造技術を応用し，紫外光（UV）に高い感度を持つ小型・低価格の「ミニ分光器マイクロシリーズ C16767MA」を開発した（ニュースリリース）。1...

    2023.11.01

  • santec，波長・帯域幅可変フィルタを開発

    santecグループは，各種光信号スペクトルに応じて最適なフィルタ帯域に動的に調整できるFlexible transmission rate「波長・帯域幅可変フィルタ （MTF-VB）」を開発した（ニュースリリース）。2...

    2023.10.02

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