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MEMS

MEMSの記事一覧

全37件中 31〜37件目を表示

  • パイオニア，MEMS方式3D−LiDARを発売

    パイオニアは，MEMSミラー方式で計測距離が異なる3D-LiDARセンサー3種4モデルの提供を，9月下旬より順次開始する（ニュースリリース）。 3D-LiDARセンサーは，レーザー光で対象物までの正確な距離を測定し，遠方...

    2018.10.01

  • パイオニア，3D LiDARのサンプル提供を開始

    パイオニアは，9月下旬より，国内外の自動車メーカーやICT関連企業などへ，MEMSミラーを用いた独自の走行空間センサー「3D-LiDAR」のサンプル供給を開始する（ニュースリリース）。 3D-LiDARは，遠方の物体まで...

    2017.09.12

  • 東芝，スピン型ひずみ検知素子を開発

    東芝は，IoTで用いられるMEMSセンサー向けに，従来の金属ひずみゲージの2500倍，半導体ひずみゲージの100倍以上の超高感度スピン型ひずみ検知素子を開発した（ニュースリリース）。 また世界で初めて，スピン型ひずみ検知...

    2017.06.19

  • 東北大ら，MEMSとLSIの集積プラットフォームを開発

    東北大学は，「先端融合領域イノベーション創出拠点形成プログラム」の協働企業と共同で，MEMS技術による3軸力センサーと，多数のセンサーを制御できる専用LSI「センサプラットフォームLSI」とをワンチップ化した集積化触覚セ...

    2017.03.08

  • 技科大，ガスセンサー向けマイクロホットプレート作製

    豊橋技術科学大学は高分子材料であるSU-8を用いてマイクロホットプレート（MHP）を作製した（ニュースリリース）。このMHPを用いることでスマートガスセンサーのレイアウト設計やプロセス条件に対する技術要求を緩和することが...

    2017.03.06
  • 日立，3DプリンターによるMEMSの短期製造技術を開発

    日立，3DプリンターによるMEMSの短期製造技術を開発

    日立製作所は，半導体向けの3Dプリント技術を開発し，振動や加速度などの計測に使われる微細なセンサー（MEMSセンサー）の製造期間を短縮した（ニュースリリース）。 従来MEMSセンサーは工場で大量生産されており，設計・製造...

    2017.03.01

  • 船井電機，新規光走査素子で測距センサーを開発

    船井電機は，産業技術総合研究所（産総研）が開発した光走査素子（以下「メタルミラー」）をもとに大面積走査用の測距センサを試作開発した（ニュースリリース）。 産総研では，十数年前よりエアロゾルデポジション法（AD法）と呼ばれ...

    2016.12.22

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