MEMS

MEMSの記事一覧

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  • スタンレー,MEMSスターターキットを発売

    スタンレー電気は,エンジニアリングサンプルとして,「2軸圧電方式MEMSミラー」スターターキットの販売を開始した(ニュースリリース)。 同社のMEMSミラーは,電磁式や静電式MEMSミラーに対して,小型で高出力なアクチュ...

    2022.02.02
  • 電通大ら,超小型プラズモニック赤外センサを開発

    電気通信大学の研究グループは,表面プラズモン共鳴を生み出すナノ構造(プラズモニック構造)をシリコン製のMEMS上にモノリシックに集積し,超小型・軽量・高性能な赤外センサ,ならびに小型分光器を実現した(ニュースリリース)。...

    2021.12.21
  • 農工大ら,MEMSの機械的非線形性を熱で低減

    東京農工大学,北京工業大学,東京大学は,MEMS素子の機械的非線形性を熱効果により低減し,素子の信号対雑音比を10倍以上増大させることに成功した(ニュースリリース)。 MEMSはスマホの加速度センサや赤外線センサをはじめ...

    2021.10.29
  • STのMEMSミラー,IntelのLiDARに採用

    STマイクロエレクトロニクス(ST)は,Intel RealSense LiDARカメラ「L515」に同社の「小型MEMSミラー」が採用されたことを発表した(ニュースリリース)。 このLiDARシステムは,ロボット・アー...

    2021.03.19
  • NTT,光の損失が極少のオプトメカニカル素子

    日本電信電話(NTT)は,微小な機械振動子の内部に希土類元素の発光中心を埋め込むことにより,光のエネルギー損失が極めて少ないオプトメカニカル素子を実現した(ニュースリリース)。 半導体チップ上に作られる微小な機械振動子は...

    2021.02.02
  • NIMS,GaNで高性能MEMS振動子を開発

    物質・材料研究機構(NIMS)は,窒化ガリウム(GaN)の熱によるひずみを制御することで,高温でも安定に動作するMEMS振動子を開発した(ニュースリリース)。 自動運転や先進運転支援システム,鉄道などの通信には高精度な同...

    2020.12.15
  • NTTら,MEMSでカオス信号生成に成功

    日本電信電話(NTT)と東京工業大学は共同で,従来手法よりも簡便で汎用性の高いカオス信号の生成手法を提案し,微細なメカニカル振動子を用いて動作実証することに世界で初めて成功した(ニュースリリース)。 昨今,機械学習や秘匿...

    2020.10.27
  • 阪大ら,光制御高速マイクロアクチュエータを開発

    大阪大学,イタリア学術会議,伊ジェノバ大学は,二酸化バナジウムの構造相転移を利用したマイクロアクチュエータを開発,ナノレベル精密変位制御・高速動作を世界で初めて実現した(ニュースリリース)。 これまで,MEMS技術による...

    2020.09.14
  • パイオニア,小型「3D-LiDAR」を量産化

    パイオニアの子会社であるパイオニアスマートセンシングイノベーションズは,サイズを大幅に小型化するとともに,計測可能距離を伸長させるなど高性能化を実現した「3D-LiDAR センサー」の量産モデルを開発した(ニュースリリー...

    2019.12.23
  • MEMS/センサーの生産能力,2023年までに25%成長

    SEMIは,2019年10月29日(米国時間),MEMS/センサーのファブの世界生産能力が,2018年から2023年にかけて25%増の月470万ウエハー(200mm相当の能力(R&D,パイロット,EPIラインを除く))に...

    2019.10.30

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