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MEMSの記事一覧

全41件中 11〜20件目を表示

  • ニコン，縮小投影倍率5倍i線ステッパーを発売

    ニコンは，パワー半導体，通信用半導体，MEMSなど様々なデバイスに対応し，同社の既存のi線露光装置との互換性が高い縮小投影倍率5倍i線ステッパー「NSR-2205iL1」を発売すると発表した（ニュースリリース）。 電気自...

    2023.09.05

  • 2025年MEMS世界市場，2兆360億円に拡大

    矢野経済研究所は，MEMS技術やMEMSデバイス世界市場を調査し，材料別や微細加工技術別，デバイス分類別，システム（需要分野）別，IDM・ファウンドリー別の動向，研究機関の動向，将来展望などを明らかにした（ニュースリリー...

    2023.01.18

  • JAISTら，グラフェンで低電圧・急峻動作NEMS実現

    北陸先端科学技術大学院大学（JAIST）とデンマーク工科大学らは，単層グラフェン膜で作製した両持ち梁を，0.5V未満の超低電圧で機械的に上下させ，5万回繰り返しても安定動作するNEMS（ナノ電子機械システム）スイッチの開...

    2023.01.10

  • SCREEN，ウエハー外観検査装置を発売

    SCREENセミコンダクターソリューションズは，次世代パワーデバイスやCIS，MEMSなどのパターン検査に対応するウエハー外観検査装置「ZI-3600」の販売を11月から開始することを発表した（ニュースリリース）。 近年...

    2022.11.15

  • スタンレー，MEMSスターターキットを発売

    スタンレー電気は，エンジニアリングサンプルとして，「2軸圧電方式MEMSミラー」スターターキットの販売を開始した（ニュースリリース）。 同社のMEMSミラーは，電磁式や静電式MEMSミラーに対して，小型で高出力なアクチュ...

    2022.02.02

  • 電通大ら，超小型プラズモニック赤外センサを開発

    電気通信大学の研究グループは，表面プラズモン共鳴を生み出すナノ構造（プラズモニック構造）をシリコン製のMEMS上にモノリシックに集積し，超小型・軽量・高性能な赤外センサ，ならびに小型分光器を実現した（ニュースリリース）。...

    2021.12.21

  • 農工大ら，MEMSの機械的非線形性を熱で低減

    東京農工大学，北京工業大学，東京大学は，MEMS素子の機械的非線形性を熱効果により低減し，素子の信号対雑音比を10倍以上増大させることに成功した（ニュースリリース）。 MEMSはスマホの加速度センサや赤外線センサをはじめ...

    2021.10.29

  • STのMEMSミラー，IntelのLiDARに採用

    STマイクロエレクトロニクス（ST）は，Intel RealSense LiDARカメラ「L515」に同社の「小型MEMSミラー」が採用されたことを発表した（ニュースリリース）。 このLiDARシステムは，ロボット･アー...

    2021.03.19

  • NTT，光の損失が極少のオプトメカニカル素子

    日本電信電話（NTT）は，微小な機械振動子の内部に希土類元素の発光中心を埋め込むことにより，光のエネルギー損失が極めて少ないオプトメカニカル素子を実現した（ニュースリリース）。 半導体チップ上に作られる微小な機械振動子は...

    2021.02.02

  • NIMS，GaNで高性能MEMS振動子を開発

    物質・材料研究機構（NIMS）は，窒化ガリウム（GaN）の熱によるひずみを制御することで，高温でも安定に動作するMEMS振動子を開発した（ニュースリリース）。 自動運転や先進運転支援システム，鉄道などの通信には高精度な同...

    2020.12.15

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