SCREENセミコンダクターソリューションズは，次世代パワーデバイスやCIS，MEMSなどのパターン検査に対応するウエハー外観検査装置「ZI-3600」の販売を11月から開始することを発表した（ニュースリリース）。

近年，温室効果ガスの排出量を実質ゼロにするカーボンニュートラルの実現に向けて，電気自動車や省エネ家電をはじめとするエネルギー効率に優れた製品の開発が加速し，電力を効率的に制御するトランジスタやSiC，GaNなどを使った次世代パワーデバイスへの需要が高まっている。

また，Si（シリコン）においては，拡大する需要に応えるため，生産効率が高い300mm化が進められており，そのため，同デバイス用の製造装置には，省スペース設計に加え，生産デバイスのサイズ・種類・生産量への多様な適応力が求められているという。

このような動向を背景に同社は，高生産性と高解像度を両立したパターン付き外観検査装置を開発。この装置は，150mm～300mmの幅広いサイズのウエハー外観検査に対応し，独自開発の検査ヘッドと改良した高速画像処理エンジンにより，従来比約2倍の実用処理能力を実現したとする。

加えて，解像度の異なる3種類の対物レンズを1つのヘッドに搭載することにより，レンズを最適な解像度に自動で切り替えながら検査を行なうため，微細欠陥からマクロ欠陥までの幅広い検査を一台で対応できる。

さらに，従来機種と同様にラインセンサーによる全面検査方式を採用しており，チップサイズや数量に依存することなく一定のスピードで検査が可能。製品の歩留まり向上および安定生産に大きく貢献するとしている。