スタンレー,MEMSスターターキットを発売

スタンレー電気は,エンジニアリングサンプルとして,「2軸圧電方式MEMSミラー」スターターキットの販売を開始した(ニュースリリース)。

同社のMEMSミラーは,電磁式や静電式MEMSミラーに対して,小型で高出力なアクチュエータを実現。自動車機器事業で培った高信頼性(高耐熱・耐振動・耐衝撃性)を設計および成膜~デバイス生産まで自社一貫で実現している。

パッケージは「光源・MEMS一体型」「光源・MEMS分離型」「MEMS+駆動回路」の3タイプをラインナップ。MEMSデバイスの仕様は下記の2種類を用意する。

パターン1
光学  水平:±22deg
振れ角 垂直:±12deg
共振  水平:36±1kHz
周波数 垂直:>700Hz
ミラー径:Φ1mm

パターン2
光学  水平:±20deg
振れ角 垂直:±6deg
共振  水平:21.5±0.5kHz
周波数 垂直:>1kHz
ミラー径:Φ1.48mm×1.63mm

投影制御用アプリケーションソフトが付属し,MEMSミラー振れ角等のコントロール,LD補正テーブルの設定,ピクセルシフト/投影補正等がセッティングできる。また,User I/Oでは,MEMSミラーのセンサ信号だけではなく,映像用の信号/緊急停止用等のインターフェースも用意しており,開発を支援するとしている。

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