スタンレー,MEMSスターターキットを発売

スタンレー電気は,エンジニアリングサンプルとして,「2軸圧電方式MEMSミラー」スターターキットの販売を開始した(ニュースリリース)。

同社のMEMSミラーは,電磁式や静電式MEMSミラーに対して,小型で高出力なアクチュエータを実現。自動車機器事業で培った高信頼性(高耐熱・耐振動・耐衝撃性)を設計および成膜~デバイス生産まで自社一貫で実現している。

パッケージは「光源・MEMS一体型」「光源・MEMS分離型」「MEMS+駆動回路」の3タイプをラインナップ。MEMSデバイスの仕様は下記の2種類を用意する。

パターン1
光学  水平:±22deg
振れ角 垂直:±12deg
共振  水平:36±1kHz
周波数 垂直:>700Hz
ミラー径:Φ1mm

パターン2
光学  水平:±20deg
振れ角 垂直:±6deg
共振  水平:21.5±0.5kHz
周波数 垂直:>1kHz
ミラー径:Φ1.48mm×1.63mm

投影制御用アプリケーションソフトが付属し,MEMSミラー振れ角等のコントロール,LD補正テーブルの設定,ピクセルシフト/投影補正等がセッティングできる。また,User I/Oでは,MEMSミラーのセンサ信号だけではなく,映像用の信号/緊急停止用等のインターフェースも用意しており,開発を支援するとしている。

キーワード:

関連記事

  • 日本学士院賞に伊賀健一氏、小山二三夫氏、江刺正喜氏など―VCSELとMEMSの先駆的研究を評価

    日本学士院は2026年3月12日、第1197回総会において、学術上の功績が顕著な科学者を顕彰する「日本学士院賞」を決定した。今回の受賞者には、光技術およびマイクロシステム分野において革新的な業績を挙げた、東京科学大学(旧…

    2026.03.19
  • 農工大ら,室温動作する広帯域テラヘルツセンサ開発

    東京農工大学,中国科学院,兵庫県立大学は,シリコン素材を用いて室温動作可能であり高速・高感度で広帯域検出可能なテラヘルツMEMSボロメータの開発に成功した(ニュースリリース)。 テラヘルツ(THz)計測技術の社会実装を進…

    2025.07.18
  • 京セラ,カメラ‐LiDARフュージョンセンサを開発

    京セラは,世界で初めてカメラとLiDARの光軸を一致させ,ワンユニット化した「カメラ-LiDARフュージョンセンサ」を開発したと発表した(ニュースリリース)。 自動運転など,モビリティの自律化に向けてさまざまなセンシング…

    2024.11.11
  • 東北大, ダイヤモンド量子センサーで応力センシング

    東北大学の研究グループは,ナノメートルサイズのダイヤモンド(ナノダイヤモンド)結晶をシリコン振動子上に固定し,ODMR法により振動子上の応力をモニタする技術を開発した(ニュースリリース)。 近年,単結晶ダイヤモンドの加工…

    2024.08.23
  • ラムリサーチ,パルスレーザー成膜装置を発売

    米ラムリサーチは,次世代MEMS技術によるマイクおよび無線周波数(RF)フィルターを実現する,世界初の量産向けパルスレーザー成膜(PLD)装置を発表した(ニュースリリース)。 この製品のシステムは,スカンジウム含有量の最…

    2024.04.02

新着ニュース

人気記事

編集部おすすめ

  • オプトキャリア