エピフォトニクス、固相エピタキシャル成長法による単結晶PLZT薄膜ウエハーを発売

著者: オプトロニクス 編集部

エピフォトニクスと同100%子会社 EpiPhotonics USA,Inc.は、独自の固相エピタキシャル成長法による単結晶PLZT薄膜ウエハーの販売を開始した(ニュースリリース)。

(写真)単結晶PLZT薄膜ウエハー(2インチ)

このPLZT薄膜は、現在光変調器等の光デバイスで用いられているLN材料等に対して約10倍の高い電気光学効果を有している。また従来のゾルゲル法などで形成した多結晶PLZT薄膜では散乱による光損失が多いことが課題とされていたが、同社の単結晶PLZT薄膜は表面の平滑性が高く高品質な結晶構造を持つことから光損失を大幅に低減でき、高い光利用効率が得られることも特徴だという。

これらの特徴を活かし、同社ではPLZT薄膜を光導波路として用いることでナノ秒での切り替えが可能な超高速光スイッチを開発した。この光スイッチをAIデータセンターや光量子コンピュータに応用することで、演算能力の向上やデータセンターの低消費電力化が可能になるとしている。

また昨年には基板材料やプロセスを最適化することで、ボーレート100Gを超える超高速光変調器チップを開発したこの変調器チップはBeyond 5Gに向けた光ネットワークの革新や、シリコンフォトニクスデバイスとの光集積化(光電融合)できるという。

■PLZT単結晶薄膜ウエハーの概要

基板材料サファイア
基板サイズ2インチ、4インチ(厚みは約500μm)
PLZT組成9/65/35
PLZT膜厚100~2,000nm
PLZT屈折率2.438(波長 1550nm)
2.446(波長 1310nm)
PLZT電気光学効果>100~150pm/V
キーワード:
 

関連記事

  • キヤノン、世界初 ナノインプリントリソグラフィ技術を応用したウエハー平坦化技術

    キヤノンは、ナノインプリントリソグラフィ(NIL)技術を応用し、ウエハーを平坦化する「Inkjet-based Adaptive Planarization」(IAP)技術を開発し、世界で初めて実用化した(ニュースリリー…

    2026.01.15
  • オキサイド、半導体後工程向け高パルスエネルギー深紫外レーザーを開発

    オキサイドは、半導体ウエハー欠陥検査用(前工程)に特化した深紫外(DUV)ピコ秒レーザー「QCW Kalama」シリーズに、半導体後工程に向けた高パルスエネルギーモデルを新たなラインナップとして加え、2025 年12月1…

    2025.12.23
  • ウシオ、解像力アップと重ね合わせ精度を向上した一括投影露光装置の受注開始

    ウシオ電機は、ウエハー向け一括投影露光装置UX-4シリーズの新製品として、φ6/φ8インチに対応し、解像力L/S=2.8μmと重ね合わせ精度向上を実現させた「UX-45114SC」を、2026年Q1より受注開始すると発表…

    2025.12.19
  • ニコン、半導体ウエハー計測装置の最新機種を開発

    ニコンは、露光プロセス前のウエハーを計測し、その補正値を露光装置に反映させることで高い重ね合わせ精度を実現する、アライメントステーションの最新機種「Litho Booster 1000」の開発を進めていると発表した(ニュ…

    2025.12.12
  • 東北大,Wるつぼで高融点酸化物の単結晶成長に成功

    東北大学の研究グループは,融点が3,400℃を超えるタングステン(W)製のるつぼに着目し,新たな結晶成長技術を開発した(ニュースリリース)。 半導体や電子機器,光学機器等に用いられる付加価値の高い単結晶の一部は,これまで…

    2025.08.19
  • OKIら,異種材料接合でテラヘルツデバイス量産確立

    OKIとNTTイノベーティブデバイスは,結晶薄膜を剥離し,異なる材料の基板やウエハーに異種材料接合するOKI独自の技術であるCFB(Crystal Film Bonding)技術を用いて,InP系UTC-PD(単一走行キ…

    2025.07.18
  • OKI,300mmシリコンウエハーに異種材料集積を実現

    OKIは,同社独自技術であるCFB(Crystal Film Bonding)技術を用いたタイリングCFB技術を開発した(ニュースリリース)。 近年,AIの急速な発展によりデータセンター需要が拡大し,処理能力拡大と消費電…

    2025.07.17
  • 理科大ら,IGZO単結晶の電子状態を解析

    東京理科大学と高輝度光科学研究センターは,硬X線光電子分光法(HAXPES)により,InGaZnO4(IGZO)単結晶の電子状態を解析し,結晶中の酸素欠陥がIn原子の周囲に偏って存在していることを明らかにした(ニュースリ…

    2025.07.10

新着ニュース

人気記事

編集部おすすめ

 
  • オプトキャリア