科学・技術

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3D白色干渉顕微鏡による三次元表面性状測定とその応用

近年の微細加工における精度の向上は目覚ましく,加工部品の表面に仕上げ加工を施し,機能性を付すことで付加価値を高めるプロセスが広く実用化されている。例えば表面加工によって摩擦を低減,または付加することで部品同士の動力伝達を […]

QST,SiC量子センサーの高感度化を実現

量子科学技術研究開発機構(QST)は,省エネ性能や高電圧でも使用可能なパワー半導体として期待されているシリコンカーバイド(SiC)半導体の量子センサーを使った温度測定において高感度化を実現することで,これまで計測可能であ […]