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干渉計

干渉計の記事一覧

全16件中 1〜10件目を表示

  • 東大ら，電子スピンのコヒーレントな分離現象を観測

    東京大学，NTT，東海大学は，量子ホールエッジ状態上における単一電子スピンのコヒーレントな分離現象を観測した（ニュースリリース）。 量子ホール系の試料端に生じるカイラルエッジ状態は，電子のコヒーレント伝導チャネルとして働...

    2025.04.28

  • Micro-Epsilon，ウエハー用白色干渉計システム発売

    Micro-Epsilon JapanはinterferoMETERシリーズ「IMS5420-24TH」の販売を開始した（製品ページ）。 この製品は，計測波長を短波長側に見直すことにより，ハイドープ（P++）のウエハーの...

    2024.07.25

  • santec，高精度ウエハー厚分布測定器を発売 　

    santecは，光学測定器分野で培われた高速波長可変レーザの技術を干渉計測に応用し，高精度ウエハー厚分布測定器「TMS-2000」を実用化したと発表した（ニュースリリース）。 この製品はSEMI規格に準拠した平坦度を，グ...

    2022.12.06

  • 東京精密，大型タイプの3D白色干渉顕微鏡を発売

    東京精密は，ナノレベルの表面性状を測定する3D白色干渉顕微鏡の特殊対応大型タイプ「Opt-scope Rex」を2021年7月より発売している（ニュースリリース）。 この製品は非接触三次元粗さ・形状測定機「Opt-sco...

    2022.02.15

  • オプティカニクス，世界最高精度の干渉計を発売

    オプティカニクスは，エストニアDifrotecの超高精度干渉計「D7」の販売を開始した（製品ページ）。 この製品は，世界最高精度の優れた再現性を実現した位相シフトコモンパスポイント回折干渉計（phase shifting...

    2022.01.14

  • santec，最高感度の光学式三次元計測器を開発

    santecは，光学測定器分野で培われた高速波長可変レーザの技術を干渉計測に応用して，世界最高感度の光学式三次元計測器を実用化した（ニュースリリース）。 この製品はヘテロダイン検波方式により，約100dBという，3次元計...

    2020.09.11

  • Micro-Epsilon Japan，白色干渉計システムを発売

    Micro-Epsilon JapanはinterferoMETERシリーズ「IMS5600-DS」の販売を開始した（製品ページ）。 コンパクトなプローブ内にリファレンスを持った白色干渉方式の測長器で，手軽に0.03nm...

    2020.09.09

  • 日本レーザー，超高安定性干渉計を発売

    日本レーザーは，伊NIREOS製干渉計「GEMINI」および「GEMINI 2D」の販売を開始した（ニュースリリース）。概算価格は「GEMINI」が約300万円～，「GEMINI 2D」が約350万円～（いずれも税抜）。...

    2020.03.16

  • 理科大ら，蛍光体の光エネルギー変換効率を測定

    東京理科大学，物質・材料研究機構の研究グループは，光熱偏向分光法の改良により，光を吸収して熱を放出する試料について，光エネルギーを別のエネルギーに変換するエネルギー変換効率を測定することに成功した（ニュースリリース）。 ...

    2020.02.18

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