Micro-Epsilon Japan,白色干渉計システムを発売

Micro-Epsilon JapanはinterferoMETERシリーズ「IMS5600-DS」の販売を開始した(製品ページ)。

コンパクトなプローブ内にリファレンスを持った白色干渉方式の測長器で,手軽に0.03nm分解能の絶対精度での測長が可能だという。

19mmのワーキングディスタンスを持ったプローブから2.1mmの範囲で,0.03nmの分解能を実現。計測速度も最大6kHzと高速計測が可能。計測のスポット径は10umと小さく,極小エリアの計測ができる。エンコーダー取り込みポートがあるのでステージ等と組み合わせることによりプロファイルの計測が可能だという(矩形的なプロファイルにも対応)。

アナログ,デジタルの様々な外部同期インターフェースにも幅広く対応しており,高い温度特性を有する。振動や衝撃にも強いコントローラにより,装置搭載にも適した絶対値測長装置だという。また同社では,この製品の発売と同時に白色干渉技術を使った厚み測定器「IMS5400-TH」も販売開始するとしている。

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