SCREEN,基板向けAI検査計測ソリューションを設立

SCREENホールディングス,SCREENセミコンダクターソリューションズ,SCREEN PEソリューションズ,SCREENアドバンストシステムソリューションズは,半導体ウエハーやプリント基板向けの最新AI検査計測ソリューションを,新ブランド「SCRAIS」として立ち上げ,2024年6月から販売を開始すると発表した(ニュースリリース)。

近年,半導体ウエハーやプリント基板の検査工程では,人手不足や人件費の高騰を背景に,人による目視検査から,深層学習(Deep Learning)による画像認識などのAI技術を用いた検査システムへの移行が進んでいる。

しかし,AI技術を用いた検査システムにおいては,欠陥見逃しに伴う工数の増加や,虚報と呼ばれる誤検出の影響による歩留まり率の低下などが,導入への課題となっている。そのため検査工程では,検査精度が高く,かつ虚報率が低い次世代の検査システムが求められている。

このような状況を踏まえ同社グループは,コア技術である画像処理技術とAI技術を融合させたAIによる虚報フィルタリングシステムの後継版を「SCRAIS」というブランド名で展開することを決定した。

現在,虚報削減率80%以上,欠陥見逃し率0.1%以下を顧客導入目標として,最適なアルゴリズムの構築,AIモデル開発にかかるラベル付け工数の削減,ADCへの深層学習の適用,検査時の設定工数削減などを進めているという。

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