Micro-Epsilon JapanはinterferoMETERシリーズ「IMS5420-24TH」の販売を開始した（製品ページ）。
この製品は，計測波長を短波長側に見直すことにより，ハイドープ（P++）のウエハーの計測にも対応するという。φ10×25㎜というコンパクトなプローブと広いワーキングディスタンスを持った白色干渉方式の厚さ計で装置組込みやインライン測定に最適な産業用白色干渉計だとしている。
24mmのワーキングディスタンスを持ったプローブから±3.0mmの範囲で，1nmの分解能を実現している。計測速度も最大6kHzと高速計測が可能だという。
エンコーダー取り込みポートがあるのでステージ等と組み合わせることによりプロファイルの計測が可能。アナログ，デジタルの様々な外部同期インターフェースにも幅広く対応しており，高い温度特性を有し，IP67オプションもあり，様々な環境での使用に対応するとしている。
