santecは，光学測定器分野で培われた高速波長可変レーザの技術を干渉計測に応用し，高精度ウエハー厚分布測定器「TMS-2000」を実用化したと発表した（ニュースリリース）。
この製品はSEMI規格に準拠した平坦度を，グローバル，サイト，エッジごとに1nmの精度で計測可能だとするもの。従来装置では温度変動や振動などの環境変化が有る場合には精度が低下してしまい，限られた使用方法となっていたが，この製品はそのような環境変化にも高い耐性を有し，且つ小型，高速，低価格を実現しているという。
これによりインライン検査も含めた，幅広いアプリケーションへの導入が想定されるとする。
この製品の主な特長は以下のとおり。
・ウエハーの厚みや平坦度を1nm（Typical）の精度で計測可能。
・グローバル平坦度（GFLR，GFLD，GBIR），サイト平坦度（SFQR，SFQD，SBIR），エッジ平坦度（ESFQR）解析が可能。
・温度変化，振動の影響を受けにくい構成を採用（特許出願中）し，特別な温度管理や振動対策は不要。
・高い耐環境性を有する事からシンプルな構成が可能で，卓上サイズを実現。
・各パラメータの計測を30秒～最長2分で計測完了。
