東京精密,大型タイプの3D白色干渉顕微鏡を発売

東京精密は,ナノレベルの表面性状を測定する3D白色干渉顕微鏡の特殊対応大型タイプ「Opt-scope Rex」を2021年7月より発売している(ニュースリリース)。

この製品は非接触三次元粗さ・形状測定機「Opt-scope」の大型タイプとして新たにラインナップに加わったもの。これまでの「Opt-scope」シリーズでは電動XYステージの駆動範囲は最大200mm角だったが,400~600mm角まで対応できるようになった。

加えて,XY電動ステージ駆動範囲を600mm以上にしたい,ワーク最大重量を増やしたいといったユーザーの要望にも対応。ナノレベルの表面性状(粗さ・微細形状)の測定が可能で,サイズが大きい・ワークピースの多い,半導体・半導体製造装置・金型などの測定に適しているという。

「Opt-scope Rex st400」の基本仕様は以下のとおり。
・計測方式:垂直走査型低コヒーレンス干渉法
・垂直分解能:0.01nm
・Z軸指示精度:±(0.1+|H/1000|)µm(H:測定高さµm)
・最大ワーク高さ:102mm
・最大ワーク積載質量:30kg
・電動XYステージサイズ:400mm角

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