東京精密は，ナノレベルの表面性状を測定する3D白色干渉顕微鏡の特殊対応大型タイプ「Opt-scope Rex」を2021年7月より発売している（ニュースリリース）。

この製品は非接触三次元粗さ・形状測定機「Opt-scope」の大型タイプとして新たにラインナップに加わったもの。これまでの「Opt-scope」シリーズでは電動XYステージの駆動範囲は最大200mm角だったが，400～600mm角まで対応できるようになった。

加えて，XY電動ステージ駆動範囲を600mm以上にしたい，ワーク最大重量を増やしたいといったユーザーの要望にも対応。ナノレベルの表面性状（粗さ・微細形状）の測定が可能で，サイズが大きい・ワークピースの多い，半導体・半導体製造装置・金型などの測定に適しているという。

「Opt-scope Rex st400」の基本仕様は以下のとおり。
・計測方式：垂直走査型低コヒーレンス干渉法
・垂直分解能：0.01nm
・Z軸指示精度：±（0.1+|H/1000|）µm（H:測定高さµm）
・最大ワーク高さ：102mm
・最大ワーク積載質量：30kg
・電動XYステージサイズ：400mm角