2020年09月11日

santec，最高感度の光学式三次元計測器を開発

著者： sugi

santecは，光学測定器分野で培われた高速波長可変レーザの技術を干渉計測に応用して，世界最高感度の光学式三次元計測器を実用化した（ニュースリリース）。

この製品はヘテロダイン検波方式により，約100dBという，3次元計測器では世界最高レベルの最小受光感度を実現しているという。また，70dB以上の測定ダイナミックレンジを有するため，形状，材料，色，表面状態を問わず，非接触・高速・高精度測定が可能。

この製品の特長は以下の通り。
・超高感度
最小受光感度100dB，すなわち照射光に対し1/10^10の光が受光できれば計測できる。また，ダイナミックレンジ70dB，すなわち10^7の受光信号強度の差が有っても同時計測が可能。
・同軸計測
同軸計測により，複雑な形状でも容易に測定できる。
・高速測定
最大40万点／秒の高速測定により製造工程での全数自動検査を可能にする。
・長い測定レンジ
最長1mと非常に長い測定レンジを有しており，複雑な形状だけでなく大きな凹凸形状も測定可能。
・外乱光の影響を受けない
干渉を計測原理として用いているため，外乱光の影響を受けない。太陽の光や照明などの外乱光を気にすることなく測定ができる。

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