オプティカニクス，世界最高精度の干渉計を発売

浜松ホトニクスは、300㎜半導体ウエハーを5秒という高速測定が可能な「HyperGauge　面内膜厚計 C17319-11」を開発した（ニュースリリース）。 半導体製造工程では、チャンバ内のピン温度などの影響により、ウエ…

東京大学，NTT，東海大学は，量子ホールエッジ状態上における単一電子スピンのコヒーレントな分離現象を観測した（ニュースリリース）。 量子ホール系の試料端に生じるカイラルエッジ状態は，電子のコヒーレント伝導チャネルとして働…

Micro-Epsilon JapanはinterferoMETERシリーズ「IMS5420-24TH」の販売を開始した（製品ページ）。 この製品は，計測波長を短波長側に見直すことにより，ハイドープ（P++）のウエハーの…

santecは，光学測定器分野で培われた高速波長可変レーザの技術を干渉計測に応用し，高精度ウエハー厚分布測定器「TMS-2000」を実用化したと発表した（ニュースリリース）。 この製品はSEMI規格に準拠した平坦度を，グ…

光技術展示会「光とレーザーの科学技術フェア2022」（11月9日（水）～11日（金），東京都立産業貿易センター浜松町館）において，アダマンド並木精密宝石（可視化技術ゾーン ブースNo3Z-14）は，光干渉式内周面精密測定…

日立ハイテクサイエンスは，英Hitachi High-Tech Analytical Scienceが製造する卓上型蛍光X線膜厚計の新製品「FT230」を，日本，韓国，台湾，およびアセアン地域向けに販売開始することを発表…

東京精密は，ナノレベルの表面性状を測定する3D白色干渉顕微鏡の特殊対応大型タイプ「Opt-scope Rex」を2021年7月より発売している（ニュースリリース）。 この製品は非接触三次元粗さ・形状測定機「Opt-sco…

光技術展示会「光とレーザーの科学技術フェア2021」（11月17日（水）～19日（金），東京都立産業貿易センター浜松町館）において，フォトテクニカは光学干渉式のリアルタイム膜厚モニターのデモを行なっている（分光フェア ブ…