オプティカニクス,世界最高精度の干渉計を発売

オプティカニクスは,エストニアDifrotecの超高精度干渉計「D7」の販売を開始した(製品ページ)。

この製品は,世界最高精度の優れた再現性を実現した位相シフトコモンパスポイント回折干渉計(phase shifting common path point diffraction interferometer:PSPDI)。

光学面や波面の形状を測定する装置で,コンパクトで信頼性が高く使いやすく,測定値と実測値の差である精度値は0.6nm以下となっている。

一般的なフィゾー干渉計では基準光学系が必要で,追加の誤差が発生したり,表面の詳細がマスクされたりするが,この製品はピンホール(薄い金属膜のサブ波長の開口部)から回折された波面が完全な基準となる(特許出願中)。

この製品は独立したハードウェアであり,フリンジパターン処理ソフトウェア「DifroMetric」が付属する。

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