2021年11月18日

【光フェア】フォトテクニカ，非接触膜厚計をデモ

著者： sugi

光技術展示会「光とレーザーの科学技術フェア2021」（11月17日（水）～19日（金），東京都立産業貿易センター浜松町館）において，フォトテクニカは光学干渉式のリアルタイム膜厚モニターのデモを行なっている（分光フェアブースNo.3S-11）。

分光器，光源，プローブから構成されるこの装置は，基板と膜（単層膜）からの干渉によって膜厚を計算で求める。測定対象はSi/SiO₂膜，レジスト，酸化膜，ポリイミド，PET膜など。膜厚の測定範囲は10nm～50μmとなっている。光源はハロゲン光源（300～2500nm）の他，小型およびハイパワータイプのDH（重水素－ハロゲン，300～2500nm）を用意。測定対象によって最適なものを選ぶことができる。

非接触でリアルタイム計測が可能なため，例えば液状の薄膜原料を乾かしながら，収縮や膨張といった膜厚の変化を見ることが可能。半導体のレジストやフィルム上の膜などを観察したいというニーズがあるという。安価なのも特長だといい，価格は光源にもよるが120万円程度だとしている。デモを行なっているので，会場に試料を持ってくれば計測できるという。

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