【光フェア】フォトテクニカ,非接触膜厚計をデモ

光技術展示会「光とレーザーの科学技術フェア2021」(11月17日(水)~19日(金),東京都立産業貿易センター浜松町館)において,フォトテクニカは光学干渉式のリアルタイム膜厚モニターのデモを行なっている(分光フェア ブースNo.3S-11)。

分光器,光源,プローブから構成されるこの装置は,基板と膜(単層膜)からの干渉によって膜厚を計算で求める。測定対象はSi/SiO2膜,レジスト,酸化膜,ポリイミド,PET膜など。膜厚の測定範囲は10nm~50μmとなっている。光源はハロゲン光源(300~2500nm)の他,小型およびハイパワータイプのDH(重水素-ハロゲン,300~2500nm)を用意。測定対象によって最適なものを選ぶことができる。

非接触でリアルタイム計測が可能なため,例えば液状の薄膜原料を乾かしながら,収縮や膨張といった膜厚の変化を見ることが可能。半導体のレジストやフィルム上の膜などを観察したいというニーズがあるという。安価なのも特長だといい,価格は光源にもよるが120万円程度だとしている。デモを行なっているので,会場に試料を持ってくれば計測できるという。

その他関連ニュース

  • オプティカニクス,世界最高精度の干渉計を発売 2022年01月14日
  • 【光フェア】太平貿易,SWIR検査システムをデモ 2021年11月18日
  • 【光フェア】シンターランドの大型ZnSレンズ 2021年11月18日
  • 【光フェア】島津,新製品レーザースペアナをデモ 2021年11月18日
  • 【光フェア】宇大,視線が合う空中ディスプレー 2021年11月17日
  • 【光フェア】東工大,光無線給電技術を展示 2021年11月17日
  • 【光フェア】QDレーザのマルチカラーレーザー光源 2021年11月17日
  • 【光フェア】カンタム・ウシカタの露光用紫外光源 2021年11月17日