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半導体

半導体の記事一覧

全316件中 51〜60件目を表示

  • ニコン，寸法を測定できる画像測定システムを発売

    ニコンソリューションズは，半導体デバイスをはじめとした，電子部品などの寸法を自動で測定できる画像測定システム「NEXIV VMF-K」シリーズを発売すると発表した（ニュースリリース）。受注開始は2024年12月。 半導体...

    2024.12.05
  • 名大，高錫組成14族ゲルマニウム錫単結晶薄膜を創製

    名大，高錫組成14族ゲルマニウム錫単結晶薄膜を創製

    名古屋大学の研究グループは，従来組成を大きく超えた50%以上の極めて高い錫組成を有する14族ゲルマニウム錫単結晶（エピタキシャル）薄膜の創製に成功した（ニュースリリース）。 新世代の半導体集積回路として，光電半導体素子の...

    2024.11.29
  • 日立ハイテクら，高分解能Laser-PEEMを半導体応用

    日立ハイテクら，高分解能Laser-PEEMを半導体応用

    日立ハイテクと東京大学は，開発した高分解能Laser-PEEM（レーザー励起光電子顕微鏡）の半導体製造プロセスへの実用化に向け，研究内容を2024年11月12日（火）～15日（金）に京都府で開催されるMNC2024におい...

    2024.11.12

  • 富士フイルム，EUV用フォトレジスト／現像液を発売

    富士フイルムは，ネガ型の極端紫外線（EUV）向けフォトレジスト（EUVレジスト）および現像液（EUV現像液）の販売を開始した（ニュースリリース）。 光源に非常に短い波長の光を用いてウエハーに微細な回路パターンの描写が可能...

    2024.11.05

  • ニコン，解像度1.0μmのデジタル露光装置を開発

    ニコンは，半導体のアドバンストパッケージ向けに，1.0μm（L/S）の高解像度で生産性の高い，デジタル露光装置の開発を進め，2026年度中の発売を予定していると発表した（ニュースリリース）。 人工知能（AI）技術の普及に...

    2024.10.22

  • キヤノン，新投影レンズ搭載の半導体露光装置を発売

    キヤノンは，半導体露光装置の新製品として，新開発の投影レンズを搭載したi線ステッパー「FPA-3030i6」を2024年9月24日に発売すると発表した（ニュースリリース）。 この製品は，高い透過率が特長のレンズ硝材を採用...

    2024.09.24
  • 東大，半導体レジストの現像前超高速検査技術を開発 

    東大，半導体レジストの現像前超高速検査技術を開発 

    東京大学の研究グループは、半導体製造に不可欠なレジスト材料の潜像を世界最高のスループットで可視化することに成功した（ニュースリリース）。 ムーアの法則に従い，半導体チップの性能は指数関数的に向上してきたが，これを支えるリ...

    2024.09.03

  • 産総研ら，半導体のプラズマ加工ダメージを定量評価

    産業技術総合研究所（産総研）と名古屋大学は，半導体素子の劣化につながる微細加工ダメージの定量評価に成功した（ニュースリリース）。 シリコントランジスタの微細構造形成ではプラズマ加工プロセスが用いられており，その際に発生す...

    2024.08.29

  • 東工大ら，線幅7.6nmの半導体が可能な共重合体開発

    東京工業大学と東京応化工業は，電子デバイスの高性能化を志向した10nm以下の半導体微細加工を可能にする高分子ブロック共重合体の開発に成功した（ニュースリリース）。 近年の人工知能やクラウドサービスの目覚ましい発展，スマー...

    2024.08.27

  • 東大ら，ポリオキソメタレートを近赤外吸収半導体に

    東京大学と岐阜大学は，ポリオキソメタレート（POM）を白金多核錯体で繋いで，電気を流すことに成功した（ニュースリリース）。 POMは，オレフィン水和反応における酸触媒，メタクリル酸合成の酸化触媒として工業利用され，水の酸...

    2024.08.19

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