半導体

半導体の記事一覧

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  • SEMI,2016年の半導体製造装置市場は412億4,000万ドルと発表

    SEMIは3月13日(米国時間),半導体製造装置(新品)の 2016年世界総販売額が412億4,000万ドルとなり,対前年比13%増であったことを発表した(ニュースリリース)。 また,2016年の受注額は,対前年比24%...

    2017.03.14
  • 東北大ら,MEMSとLSIの集積プラットフォームを開発

    東北大学は,「先端融合領域イノベーション創出拠点形成プログラム」の協働企業と共同で,MEMS技術による3軸力センサーと,多数のセンサーを制御できる専用LSI「センサプラットフォームLSI」とをワンチップ化した集積化触覚セ...

    2017.03.08
  • 古河電工,レーザー+プラズマダイシング向けテープを開発

    古河電気工業は,「レーザーグルービング(溝加工)+プラズマダイシング工法」向けの新たな半導体用テープ「プラズママスク付きバックグラインド(BG)テープ」及び「エキスパンド分割用ダイシング・ダイアタッチフィルム(D-DAF...

    2017.03.01
  • DNP,ナノインプリントで半導体テンプレの量産開始

    DNP,ナノインプリントで半導体テンプレの量産開始

    大日本印刷(DNP)は,次世代の3D(3次元)構造のNAND型フラッシュメモリーの需要増加と低コスト化に対応するため,ナノインプリント用テンプレートの複製装置を3月に導入し,半導体メーカーへ回路線幅10nm台のテンプレー...

    2017.03.01
  • ギガフォトン,新型ArFエキシマレーザーを発売

    ギガフォトンは,新製品として最先端の液浸露光(リソグラフィ)装置向けArFエキシマレーザー「GT65A」を発表した(ニュースリリース)。2017年内の出荷を目指す。 この製品は,同社のArFプラットフォームの特徴である,...

    2017.02.22
  • パナと東京精密,ウエハ加工装置で協業

    パナソニック ファクトリーソリューションズと東京精密は,メタル配線のあるセンサーやメモリーなどの半導体チップをウエハーからダメージレスで切り出す技術として,「レーザーグルービング(溝加工)+プラズマダイシング工法」の普及...

    2017.02.20
  • SEMI,2016年シリコンウエハ販売額は前年比1%増加

    SEMIは2月6日(米国時間),SEMI Silicon Manufacturers Group(SMG)が2016年末に実施したシリコンウエハ業界の分析結果をもとに,2016年の世界シリコンウエハ出荷面積が前年比3%増...

    2017.02.07
  • 日立ハイテクとピコサン社,原子層堆積装置を共同開発

    日立ハイテクノロジーズとフィンランド Picosun Oy(ピコサン社)は1月30日,プラズマを利用した原子層堆積(Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition,PE-ALD)装置の共同...

    2017.02.01
  • NTT-ATら,KTNによるウエハ厚み計測用波長掃引光源を開発

    浜松ホトニクスとエヌ・ティ・ティ・アドバンステクノロジ(NTT-AT),および日本電信電話(NTT)は,タンタル酸ニオブ酸カリウム(KTN)光スキャナーを応用した,発振波長を時間とともに周期的に変化させる高安定な波長掃引...

    2017.01.25
  • 阪大,次世代パワー半導体の配線技術を開発

    大阪大学の研究グループは,独自開発の銀粒子焼結により,次世代パワーエレクトロニクスの高性能3D配線を低コストに実現する技術を開発しまた(ニュースリリース)。 銀粒子焼結技術は同大が開発した技術だが,200℃程度の低温(他...

    2017.01.20

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