NTT-ATら,KTNによるウエハ厚み計測用波長掃引光源を開発

浜松ホトニクスとエヌ・ティ・ティ・アドバンステクノロジ(NTT-AT),および日本電信電話(NTT)は,タンタル酸ニオブ酸カリウム(KTN)光スキャナーを応用した,発振波長を時間とともに周期的に変化させる高安定な波長掃引光源を新たに開発した(ニュースリリース)。

今後の市場の拡大が予想されるパワーデバイス用シリコンウエハの厚み計測装置用途に,4月から浜松ホトニクスとNTT-ATの両社が国内の厚み計測装置メーカーに向けてサンプル出荷を開始する。

この開発品は,入射してきた光の進む方向を電圧で高速に制御できるKTN光スキャナーを応用して,光共振器内の回折格子に入射する光の角度を制御して時間とともに発振波長を周期的に変化させる,パワーデバイス用シリコンウエハの厚み計測装置に適した波長掃引光源。

3社は,NTTが開発したKTN光スキャナーを応用し,主に生体組織表層の高精細な断層像を撮影する光干渉断層計(Optical Coherence Tomography:OCT)に用いる波長掃引光源の開発,販売において連携してきた。今回,産業分野へ応用を広げ,パワーデバイス用シリコンウエハの製造現場で使用される厚み計測装置向けの波長掃引光源を開発した。

パワーデバイス用シリコンウエハは,一般的に厚さ100マイクロメートル程度まで高速で研磨するため,高精度な厚み計測装置に使用可能な高安定光源が求められていた。現在主流のOCTに使われている波長掃引光源は,ミラーを機械的に動かして波長を周期的に変えるため,装置の振動の影響を受けやすいという問題があった。

開発品は,入射してきた光の進む方向を電圧で高速に制御できるKTN光スキャナーを用いることで機械的な可動部がなく,振動の影響を抑えられるため,長時間の安定的な連続動作が可能。また,材料の見直しおよび温度制御方法の改良により,光源周囲の温度変化による計測結果への影響を低減し,高い計測結果の再現性を実現している。

さらに,KTN結晶に青色LEDを照射すると,KTN光スキャナーの動作が短時間で安定するという性質を利用して,波長掃引光源が安定動作するまでの立ち上がり時間を短縮し,製造現場での使用を可能とした。また,光源の中心波長を,他の波長と比較して不純物に吸収されにくい1.3µmとすることで,不純物濃度が高いパワーデバイス用シリコンウエハの厚みを高精度に計測できるという。

なお,開発品の構成部品である半導体光増幅器は,NTTグループであるNTTエレクトロニクスが開発した。これは,中心波長1.3µmで,気密封止に工夫をして信頼性を高めたもの。

今後は,動作の高速化,発振波長範囲の拡大などの高性能化を図り,医療,産業などさらに幅広い分野への応用を進めていく。また,2018年1月から海外に向けてもサンプル出荷を開始する予定。

その他関連ニュース

  • オプティカニクス,世界最高精度の干渉計を発売 2022年01月14日
  • 北大,水と光で作製した半導体界面の電子構造解明 2022年01月14日
  • SCREEN,次世代パターン用直接描画装置を開発 2022年01月13日
  • 2021年半導体製造装置市場,史上初の1000億ドル超 2021年12月14日
  • 日立ハイテク,EUV向け電子線検査システムを開発 2021年12月14日
  • 2022年,半導体デバイス世界市場50兆5,296億円 2021年11月29日
  • 【光フェア】フォトテクニカ,非接触膜厚計をデモ 2021年11月18日
  • 東北大ら,層状物質TMDの核形成過程を直接観測 2021年11月16日