イベントカレンダー
検索ワード
  • HOME
  • タグ : 膜厚計

膜厚計

膜厚計の記事一覧

全7件中 1〜7件目を表示

  • 浜松ホトニクス、300mmウエハーを5秒で測定する「HyperGauge 面内膜厚計」受注開始

    浜松ホトニクスは、300㎜半導体ウエハーを5秒という高速測定が可能な「HyperGauge　面内膜厚計 C17319-11」を開発した（ニュースリリース）。 半導体製造工程では、チャンバ内のピン温度などの影響により、ウエ...

    2025.12.05

  • santec，高精度ウエハー厚分布測定器を発売 　

    santecは，光学測定器分野で培われた高速波長可変レーザの技術を干渉計測に応用し，高精度ウエハー厚分布測定器「TMS-2000」を実用化したと発表した（ニュースリリース）。 この製品はSEMI規格に準拠した平坦度を，グ...

    2022.12.06

  • 日立ハイテク，蛍光X線膜厚計を発売

    日立ハイテクサイエンスは，英Hitachi High-Tech Analytical Scienceが製造する卓上型蛍光X線膜厚計の新製品「FT230」を，日本，韓国，台湾，およびアセアン地域向けに販売開始することを発表...

    2022.09.12

  • オプティカニクス，世界最高精度の干渉計を発売

    オプティカニクスは，エストニアDifrotecの超高精度干渉計「D7」の販売を開始した（製品ページ）。 この製品は，世界最高精度の優れた再現性を実現した位相シフトコモンパスポイント回折干渉計（phase shifting...

    2022.01.14

  • 【光フェア】フォトテクニカ，非接触膜厚計をデモ

    光技術展示会「光とレーザーの科学技術フェア2021」（11月17日（水）～19日（金），東京都立産業貿易センター浜松町館）において，フォトテクニカは光学干渉式のリアルタイム膜厚モニターのデモを行なっている（分光フェア ブ...

    2021.11.18

  • NTT-ATら，KTNによるウエハ厚み計測用波長掃引光源を開発

    浜松ホトニクスとエヌ・ティ・ティ・アドバンステクノロジ（NTT-AT），および日本電信電話（NTT）は，タンタル酸ニオブ酸カリウム（KTN）光スキャナーを応用した，発振波長を時間とともに周期的に変化させる高安定な波長掃引...

    2017.01.25

  • オプトサイエンス，非接触膜厚測定装置を発売

    オプトサイエンスは，仏enovasense社の非接触膜厚測定システムの取り扱いを開始したと発表した（製品ページ）。 この製品は，測定対象物にレーザー光を照射し，僅かながら変化した表面温度（輻射熱）を観測し，独自のアルゴリ...

    2016.08.05

新着ニュース

人気記事

新着記事

  • オプトキャリア

ページトップへ戻る
ページトップへ戻る