オプトサイエンス，非接触膜厚測定装置を発売

浜松ホトニクスは、300㎜半導体ウエハーを5秒という高速測定が可能な「HyperGauge　面内膜厚計 C17319-11」を開発した（ニュースリリース）。 半導体製造工程では、チャンバ内のピン温度などの影響により、ウエ…

東京農工大学の研究グループは，光学顕微鏡の微分干渉法を用いて，蒸発途中の水溶液内での高分子濃度の分布を測定することに成功した（ニュースリリース）。 高分子を溶解させた溶液を塗布し乾燥させて薄膜を作製する手法は，ものづくり…

東京農工大学の研究グループは，微量のナノ結晶を流体に添加し，流れによる偏光変調を安定させることで，非接触（リモート）で流体の内部応力を正確に測定する新しい手法を開発した（ニュースリリース）。 血液などの流れは様々な要素が…

光技術展示会「OPIE’24」展示会場で，駿河精機【レーザーEXPO No.A-26】は精密さを求める部品やデバイスの検査・角度測定が可能なレーザーオートコリメーター「Smart LAC H410シリーズ」を展示する。 …

三菱電機は，運転中のドライバーのわき見や居眠りを検知する「ドライバーモニタリングシステム（DMS）」のカメラを用いて，脈拍や血圧の変化などの生体情報を非接触で推定し，ドライバーの意識消失などの体調異常を検知する技術を開発…

santecは，光学測定器分野で培われた高速波長可変レーザの技術を干渉計測に応用し，高精度ウエハー厚分布測定器「TMS-2000」を実用化したと発表した（ニュースリリース）。 この製品はSEMI規格に準拠した平坦度を，グ…

日立ハイテクサイエンスは，英Hitachi High-Tech Analytical Scienceが製造する卓上型蛍光X線膜厚計の新製品「FT230」を，日本，韓国，台湾，およびアセアン地域向けに販売開始することを発表…

三井化学，アスカネット，MIRAIBARは，共同開発した非接触・空中ディスプレーソリューションが，5月18日より茨城県境町役場の窓口発券機に導入されたことを発表した（ニュースリリース）。 窓口発券機では，住民異動届や印鑑…