【解説】オキサイド、半導体後工程向けレーザー加工装置事業を強化 オキサイドは、台湾のレーザー微細加工装置メーカーBoliteと業務提携に関する基本合意を締結し、半導体後工程向けレーザー加工装置事業の強化に乗り出す。これまで同社は深紫外レーザーなどの光源技術を活かし、主に半導体前工程の... Editor's Eye PICK UP 2026.03.17
東大ら,ガラスへの穴あけ加工を100万倍高速化 東京大学とAGCは,従来の100万倍高速かつ超精密に,ガラスなどの透明材料を加工できる手法を開発した(ニュースリリース)。 ガラスへのエッチングを使わない加工技術として,レーザー加工が注目されている。研究グループは201... PICK UP ニュース 光技術・研究開発 光関連技術 2025.06.13
東大,半導体ガラス基板へ微細レーザー穴あけを実現 東京大学の研究グループは,半導体基板用ガラスへの極微細レーザー穴あけ加工技術を開発した(ニュースリリース)。 露光技術の進歩に伴い,半導体チップは微細化するとともに大面積化も進んでいる。それとともに,半導体チップを実装す... ニュース 光技術・研究開発 光関連技術 2025.06.02
NIMSら,ガラス基板に周期構造を簡易に転写 物質・材料研究機構(NIMS)と米コネティカット大学は,ポリジメチルシロキサン(PDMS)という汎用材料の表面に形成したナノ/マイクロメートルスケールの周期構造(周期微細構造)を,ガラス基板に簡単に転写できる手法を開発... ニュース 光技術・研究開発 2025.04.18
ギガフォトンら,ガラスへの高生産微細穴加工に成功 ギガフォトンと早稲田大学はKrFエキシマレーザと深紫外域回折光学素子(DOE)によるマスクレス同時多点加工技術を開発した(ニュースリリース)。 シリコンやガラスを材料としたインターポーザにより半導体チップと基板を高密度に... PICK UP ニュース 光技術・研究開発 光関連技術 2024.12.05
JDI,VR/MR用超高精細ディスプレーを開発 ジャパンディスプレイ(JDI)は,ガラス基板ベースでは世界最高の精細度である,2.15型2527ppiのVR-HMD/MR-HMD用のディスプレーを開発した(ニュースリリース)。 VR-HMDで求められる没入感の向上のた... ニュース 光関連技術 新製品・開発 2024.06.28
OIST,「しわ」の物理学を解明 沖縄科学技術大学院大学(OIST)の研究グループは,材料の縁(エッジ)における曲率を変化させることで,どのようにしわを増やしたり減らしたりできるかを示した(ニュースリリース)。 しわは,圧力センサー,航空機パネル,さらに... ニュース 光技術・研究開発 光関連技術 2020.06.05
SCREEN,10.5世代対応コーターデベロッパーを開発 SCREENファインテックソリューションズは,世界最大の第10.5世代ガラス基板(2,940mm×3,370mm)に対応した高精細プロセス向けコーターデベロッパー「SK-3033G」を開発した(ニュースリリース)。 近年... ニュース 光関連技術 新製品・開発 2019.03.20
NSCら,ケミカル研磨で曲面有機ELパネルを開発 NSCは山形大学と共同で,高度化したケミカル研磨技術を用いたガラス基板ベースの曲率半径R100mmで大きく曲がる有機ELパネルを開発した(ニュースリリース)。 このパネルは,高信頼性が求められる車載向け等で,曲げた状態で... ニュース 光関連技術 新製品・開発 2019.01.18
日板の貫通穴加工,専用ガラス基板を使用 8インチ基板への加工例 日本板硝子は,微細貫通穴ガラス基板(TGV:Through Glass Via)の開発に成功したと発表した(発表記事)。TGVはデバイスの小型化によって従来のワイヤボンディングでは対応が難しくなり... PICK UP ニュース 光関連技術 新製品・開発 2018.01.19