SCREEN,10.5世代対応コーターデベロッパーを開発

SCREENファインテックソリューションズは,世界最大の第10.5世代ガラス基板(2,940mm×3,370mm)に対応した高精細プロセス向けコーターデベロッパー「SK-3033G」を開発した(ニュースリリース)。

近年,ディスプレー業界では,4Kや8Kなどの超高画質映像に対応するため,液晶・有機ELディスプレー共に高精細化が進んでいる。また,テレビ用大型パネルの製造プロセスにおいては,生産性を考慮した高スループットの性能に加え,パーティクル制御や高い塗布均一性などによる歩留まりの向上が,従来以上に求められている。

今回,同社は,TFTアレイ用として世界シェア68%を誇る「SKシリーズ」の第10.5世代ガラス基板向けコーターデベロッパー「SK-3033G」を開発した。この装置は,エア浮上搬送方式の塗布システム「レビコータTM」を搭載し,洗浄から現像までの一貫ラインによる効率的な処理を実現。

特に,傾斜搬送方式の洗浄・現像装置,温度均一性の高い枚葉プレート式オーブンなどの高い性能が認められ,ディスプレーパネルメーカーから同装置を受注し,納入した。同社は今回の受注・納入を足掛かりに,大型ディスプレー市場へのビジネスを拡大させるとしている。

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