2019年03月20日

SCREEN，10.5世代対応コーターデベロッパーを開発

SCREENファインテックソリューションズは，世界最大の第10.5世代ガラス基板（2,940mm×3,370mm）に対応した高精細プロセス向けコーターデベロッパー「SK-3033G」を開発した（ニュースリリース）。

近年，ディスプレー業界では，4Kや8Kなどの超高画質映像に対応するため，液晶・有機ELディスプレー共に高精細化が進んでいる。また，テレビ用大型パネルの製造プロセスにおいては，生産性を考慮した高スループットの性能に加え，パーティクル制御や高い塗布均一性などによる歩留まりの向上が，従来以上に求められている。

今回，同社は，TFTアレイ用として世界シェア68%を誇る「SKシリーズ」の第10.5世代ガラス基板向けコーターデベロッパー「SK-3033G」を開発した。この装置は，エア浮上搬送方式の塗布システム「レビコータ^TM」を搭載し，洗浄から現像までの一貫ラインによる効率的な処理を実現。

特に，傾斜搬送方式の洗浄・現像装置，温度均一性の高い枚葉プレート式オーブンなどの高い性能が認められ，ディスプレーパネルメーカーから同装置を受注し，納入した。同社は今回の受注・納入を足掛かりに，大型ディスプレー市場へのビジネスを拡大させるとしている。

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