SCREEN,有機ELディスプレー用塗布現像装置を発売

SCREENファインテックソリューションズは,有機ELディスプレー用の基板形成工程向け塗布現像装置の新製品として,第6世代基板用の「SK-B1500G」および第8世代基板用の「SK-B2200G」を開発。有機ELディスプレー製造装置群「Eシリーズ」の新たなラインアップとして,販売を開始すると発表した(ニュースリリース)。

軽量・薄型かつフレキシブルさを特長とする有機ELディスプレーは,折り畳み式スマートデバイスや車載向けを中心に採用が進み,今後も市場の長期的な伸長が見込まれている。

また,有機ELディスプレーのバックプレーン製造工程では,長寿命化・省電力化を目的として,反射防止フィルムに代わり,OLED封止層上にカラーフィルター層を形成し,反射防止機能を持たせるCOEの採用が進んでいる。

従来はバンク材として,ディスプレー中の赤色・緑色・青色の各素子が干渉しないように封入する素材である透明のPDLを使用していたが,より反射防止効果を高めるためブラックPDL(BPDL)に変更する動きが加速している。

このような業界の動向を受け同社は,有機ELバックプレーンにおけるBPDL形成工程用向け塗布現像装置として,第6世代基板に対応する「SK-B1500G」,第8世代基板に対応する「SK-B2200G」の2機種を開発。有機ELディスプレー製造装置群「Eシリーズ」のラインアップに加えることにより,同シリーズの拡充を図った。

このシリーズは,有機ELディスプレー製造工程において歩留まり低下の原因となっている有機汚染,微小なごみ,静電気の発生などの課題に対応している。これにより,業界トップクラスの高生産性を実現し,量産装置として高い導入実績があるとする。

今回発売する2機種は,これまでリリースしてきたEシリーズの基本スペックを継承しつつ,BPDL専用に開発された初めての装置となるという。

この製品の対応基板サイズは以下の通り。

●SK-B1500G
・対応基板サイズ:第6世代(1,500×1,850mm)

●SK-B2200G
・ 対応基板サイズ:第8世代(2,200×2,500,2,250×2,600,2,290×2,620mm)

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