ナイトライド，半導体露光用UV-LEDを発売

ナイトライド・セミコンダクターは，半導体露光に有効な指向角の狭い高出力な紫外線（UV-）LED「UV-LED365L-9RXT」を開発・販売開始した（ニュースリリース）。販売時期は5月20日から注文受付，デリバリー開始は6月初旬予定。

環境への影響もあり，水銀を含む紫外線ランプから紫外線LEDへの切り替えに関心が高まっている。従来，紫外線LEDは，コストが高い，光出力が弱いといった理由で置き換えが進んでいなかった。

半導体製造に使用する露光機には水銀を含むUVランプが使用されているが，待機時間が長い，寿命が短い，UV照度の安定性が低い，オンオフによる制御ができないといった機能面での制約に加えて，水銀の製造・貿易の禁止を決議した国連環境計画（UNEP）水俣条約の発効期限2020年を迎え，環境問題からも半導体（LED）光源への切り替えが進むことが期待されている。

露光機専用「UV-LED365L-9RXT」の特長は以下の通り。
1.高効率大出力UV-LEDチップを採用し，省エネ，長寿命
高効率，省エネ，長寿命な波長365nm大面積UV-LEDチップを採用，UV出力3.2W（If：3A，Vf.：4.6V）の大パワーを発揮する。

2.半導体露光に適した狭い指向角で従来の露光機への後付けが可能
正確な露光を行なうためには，平行光が必要だが，一般的にUV-LED光源は指向角が広く（約120°），露光用に取り込む光量が不足する傾向があった。そこで，予め深いリフレクターに紫外線透過率の高いレンズを組み合わせることで，指向角15°以下を実現した。これにより，新しい露光機を購入せず，従来の露光機の光源部をLEDに置き換えるだけで，使用することが可能になった。

3.コンパクト
半導体の露光機用の光源には，通常100個から最大1千個のUV-LEDが必要となり，高密度実装する必要がある。同製品は縦9ｍｍ×横9ｍｍ×高さ8.5ｍｍと大変コンパクトなので，実装密度を高めることができる。

4.安価
指向角が狭いので光源の開発，特に光学系パーツに掛かるコストを削減できる。量産1万個あたりの単価は約5,000円。

なお，用途は半導体，PCB基板等を製造する露光機用の光源としての使用を想定している。