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露光

露光の記事一覧

全14件中 1〜10件目を表示

  • ニコン、新型アライメントステーションを発表　半導体露光工程を高度化

    ニコンは、半導体製造の露光プロセスにおいて高い精度と生産性を実現する新型アライメントステーション「Litho Booster 1000」を2027年1月に発売する（ニュースリリース）。同製品は、従来機種と比較して計測精度...

    2026.07.30

  • imec、EUV露光量低減の新たな可能性を提示

    imecは、EUV露光後リソグラフィー工程中のガス組成を精密に制御することで、必要な露光量の最小化が可能となることを発表した（ニュースリリース）。 金属酸化物レジスト（MOR）は、化学増幅型レジスト（CAR）と比較して、...

    2026.03.02

  • ニコン、R2Rマスクレス露光 共創ラボ設立

    ニコンは、フレキシブルエレクトロニクスの量産実用化に向けた共創拠点「S3S LAB（エス スリー エス ラボ）」を開設し、Roll to Roll（R2R）方式のマスクレス露光装置を中核設備として導入した（ニュースリリー...

    2025.12.17

  • キヤノン，次世代LED露光技術搭載の複合機を発売

    キヤノンは，オフィス向け複合機の新製品として，「imageFORCE（イメージフォース）」5シリーズ15モデルを2025年9月上旬より順次発売すると発表した（ニュースリリース）。 人々の働き方が多様化する中，オフィスでは...

    2025.08.18

  • TEL，EUV露光によるガスクラスタービーム装置発売

    東京エレクトロン（TEL）は，EUV露光による極微細パターニング工程向けガスクラスタービーム装置「Acrevia 」を発売すると発表した（ニュースリリース）。 この装置は，EUV露光による極微細なパターニング工程において...

    2024.07.10

  • 広島大，遮光による茶葉表皮細胞への影響を解析

    広島大学の研究グループは，高品質な茶葉を作るための遮光が茶葉へ及ぼす影響について，表皮細胞に着目した解析を試みた（ニュースリリース）。 お茶の栽培には遮光処理（被覆栽培）が慣行されているが，遮光作業は重労働であり，担い手...

    2024.03.25

  • 三井化学とimec，EUVで戦略的パートナーシップ締結

    三井化学とimecは，2023年12月13日，極端紫外線（EUV）露光用のカーボンナノチューブ（CNT）膜を使用した次世代ペリクルの事業化に向けた戦略的パートナーシップ契約を締結した（ニュースリリース）。 この戦略的パー...

    2023.12.19

  • 阪大ら，露光でマイクロロボットをその場製造

    大阪大学，北陸先端科学技術大学院大学，岐阜大学は，マイクロ流路内でマイクロロボットの部品をプリント成形し，その場で組み立てることに成功した（ニュースリリース）。 マイクロロボット，特に柔軟な構造を持つロボットは，生物医学...

    2022.08.26

  • ニコン，8G対応FPD露光装置を発売

    ニコンは，多様な高精細パネルの生産が可能な，第8世代プレートサイズ対応のFPD露光装置「FX-88S」を発売すると発表した（ニュースリリース）。 スマートデバイスやハイエンドモニターなどに用いられる中小型パネルは，折り畳...

    2022.04.05

  • ギガフォトン，微細化対応リソグラフィ光源を量産

    ギガフォトンは，新技術を採用した最新半導体製造ArF液浸用リソグラフィ光源「GT66A」の量産出荷を開始した（ニュースリリース）。 最先端デバイス製造は，現在，ロジックデバイスでは3nmノードのプロセス開発が開始，DRA...

    2020.12.22

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