科学・技術

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3D白色干渉顕微鏡による三次元表面性状測定とその応用

近年の微細加工における精度の向上は目覚ましく,加工部品の表面に仕上げ加工を施し,機能性を付すことで付加価値を高めるプロセスが広く実用化されている。例えば表面加工によって摩擦を低減,または付加することで部品同士の動力伝達を […]

阪大,SiCの絶縁膜界面の欠陥を大幅に低減

大阪大学の研究グループは,炭化珪素(SiC)パワーデバイスの心臓部となる絶縁膜界面の欠陥を大幅に低減する事に成功した(ニュースリリース)。 パワーデバイスは,電力の変換と制御を司り,従来はシリコン半導体を用いて製造されて […]