科学・技術

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3D白色干渉顕微鏡による三次元表面性状測定とその応用

近年の微細加工における精度の向上は目覚ましく,加工部品の表面に仕上げ加工を施し,機能性を付すことで付加価値を高めるプロセスが広く実用化されている。例えば表面加工によって摩擦を低減,または付加することで部品同士の動力伝達を […]

阪大,1400℃で使用可能な合金を開発

大阪大学の研究グループは,1400℃以上の超高温での使用に耐えるタービンブレード用材料として開発中の,遷移金属とシリコンを組み合わせた遷移金属シリサイドであるNbSi2(ニオブダイシリサイド)/MoSi2(モリブデンダイ […]

東芝,超低消費電力水素センサーを開発

東芝は,検知速度を落とすことなく,従来の約100分の1以下の低消費電力で水素ガスを検知する水素センサーを開発した(ニュースリリース)。 センサー膜にパラジウム系金属ガラスを用いた独自のMEMS構造を採用することで,従来ト […]

東芝,スピン型ひずみ検知素子を開発

東芝は,IoTで用いられるMEMSセンサー向けに,従来の金属ひずみゲージの2500倍,半導体ひずみゲージの100倍以上の超高感度スピン型ひずみ検知素子を開発した(ニュースリリース)。 また世界で初めて,スピン型ひずみ検知 […]