ニコン,半導体パッケージ検査に最適なレンズを発売

ニコンは,産業用カメラレンズ「Rayfact(レイファクト) RF3-6x可変倍率レンズ」と「Rayfact RF3-6x可変倍率レンズ プリズムタイプ」を発売すると発表した(ニュースリリース)。

カメラレンズRFシリーズは,半導体ウエハーやフラットパネルディスプレー(FPD)基板の微細パターン検査に適しており,高画素数のラインセンサーカメラや大型エリアセンサーカメラに対応した産業用カメラレンズだという。

今回発売する,可変倍率レンズと可変倍率レンズ プリズムタイプは,次世代半導体パッケージやマイクロLEDパネルの微細パターンなど,高精度な外観検査向けに設計されている。従来製品に比べ,分解能と明るさが向上しており,微小な欠陥の検出に高いパフォーマンスを発揮するとしている。

さらに,可変倍率レンズ プリズムタイプは,さまざまな検査用途や使用環境を想定し,落射照明に最適化した光学系を採用しているという。

1本のレンズで3倍から6倍まで倍率範囲の変更が可能で,使用倍率全域において少ない性能差を確保している。また,イメージサークルΦ82mm,高解像度大型ラインセンサーカメラの性能を最大限に引き出す光学設計だとしている。

さらに,F1.8で明るく鮮明な撮影が可能で,物体側へのプリズム配置を想定した光学最適化タイプを準備(同軸落射:厚み30mm)している。絞り・フローティング機構を外部駆動にて操作できるよう,絞りリング・フローティングリングにギアを搭載しているという。

主な仕様な以下の通り
・基本仕様

型式BA01941 / BA01951(プリズムタイプ)
使用倍率範囲-3x ~ -6x
Fナンバー(∞)F1.8 ~ F11
波長範囲(nm)400 ~ 700
イメージサークル(mm)Φ82
マウントM67(P=0.75)おねじ
外形寸法(mm)Φ110×166.1
質量(g)約2,450

・光学仕様

倍率-3x-3.5x-5x-6x
焦点距離(mm)108.9108.4107.5107.1
NA0.2080.2140.2260.231
物像間距離(mm)593.3640.1787.3888.3
ワーキングディスタンス(mm)93.388.379.475.5
歪曲収差(%)0.07以下
周辺照度比(%)90以上
物体サイズ(mm)27.323.416.413.7

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