ニコンは,産業用カメラレンズ「Rayfact(レイファクト) RF3-6x可変倍率レンズ」と「Rayfact RF3-6x可変倍率レンズ プリズムタイプ」を発売すると発表した(ニュースリリース)。
カメラレンズRFシリーズは,半導体ウエハーやフラットパネルディスプレー(FPD)基板の微細パターン検査に適しており,高画素数のラインセンサーカメラや大型エリアセンサーカメラに対応した産業用カメラレンズだという。
今回発売する,可変倍率レンズと可変倍率レンズ プリズムタイプは,次世代半導体パッケージやマイクロLEDパネルの微細パターンなど,高精度な外観検査向けに設計されている。従来製品に比べ,分解能と明るさが向上しており,微小な欠陥の検出に高いパフォーマンスを発揮するとしている。
さらに,可変倍率レンズ プリズムタイプは,さまざまな検査用途や使用環境を想定し,落射照明に最適化した光学系を採用しているという。
1本のレンズで3倍から6倍まで倍率範囲の変更が可能で,使用倍率全域において少ない性能差を確保している。また,イメージサークルΦ82mm,高解像度大型ラインセンサーカメラの性能を最大限に引き出す光学設計だとしている。
さらに,F1.8で明るく鮮明な撮影が可能で,物体側へのプリズム配置を想定した光学最適化タイプを準備(同軸落射:厚み30mm)している。絞り・フローティング機構を外部駆動にて操作できるよう,絞りリング・フローティングリングにギアを搭載しているという。
主な仕様な以下の通り
・基本仕様
型式 | BA01941 / BA01951(プリズムタイプ) |
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使用倍率範囲 | -3x ~ -6x |
Fナンバー(∞) | F1.8 ~ F11 |
波長範囲(nm) | 400 ~ 700 |
イメージサークル(mm) | Φ82 |
マウント | M67(P=0.75)おねじ |
外形寸法(mm) | Φ110×166.1 |
質量(g) | 約2,450 |
・光学仕様
倍率 | -3x | -3.5x | -5x | -6x |
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焦点距離(mm) | 108.9 | 108.4 | 107.5 | 107.1 |
NA | 0.208 | 0.214 | 0.226 | 0.231 |
物像間距離(mm) | 593.3 | 640.1 | 787.3 | 888.3 |
ワーキングディスタンス(mm) | 93.3 | 88.3 | 79.4 | 75.5 |
歪曲収差(%) | 0.07以下 | |||
周辺照度比(%) | 90以上 | |||
物体サイズ(mm) | 27.3 | 23.4 | 16.4 | 13.7 |