東北大ら,AlNとInNによる高効率光源実現に道

東北大学と九州大学は,非極性面Al1-xInxN薄膜の特異なナノ構造を調べ,本来は互いに混ざり合わないAlNとInNは自己凝集することなく,窒化ガリウム(GaN)基板直上における初期のカチオン秩序配列を引き継いだ上で,原子層レベルで交互に配列する超格子を自己形成することを解明した(ニュースリリース)。

安全な飲料水がない地域や感染症の温床といえる劣悪な衛生環境下に現在も26億人が暮らしており,浄水・医療目的の殺菌・ウイルス不活化・バイオ化学検出等が可能な深紫外線を発する省エネルギー小型固体光源の実現が切望されている。

Al1-xInxNは禁制帯幅波長が赤外線から深紫外線に渡るため発光層として魅力的な半導体材料となっている。しかし,AlNとInNは熱力学的に混ざりにくく最適な結晶成長温度が1200°C以上も異なるため,欠陥が少ない結晶を成長させることが本質的に困難であり,発光層への応用は実現されてこなかった。

2016年に東北大学は,Al1-xInxN混晶を非極性面に有機金属気相エピタキシャル(MOVPE)成長させた薄膜ナノ構造が蛍光表示管に搭載され,波長210nmに迫る深紫外線から緑色までの小型偏光光源を実現した。

その光源に用いたAl1-xInxN薄膜には櫛状に空隙が存在し多量の欠陥を含むものの,室温において深紫外から緑色まで面内直線偏光光を呈するなど非極性面Al1-xInxNに特有な物性を示した。

この要因となるAl1-xInxNの特異なナノ構造およびその発生メカニズムを明らかにすることは,Al1-xInxN混晶を用いる発光素子の更なる高効率化・多機能化に繋がるとともに,他の混晶半導体を用いた新奇デバイス設計にも貢献できるとが期待されるという。

今回研究グループは,非極性面Al1-xInxN薄膜の特異なナノ構造を,走査型透過電子顕微鏡,量子化学計算,空間分解カソードルミネッセンス 等を用いて調べた。本来は互いに混ざり合わないAlNとInNは自己凝集することなく,窒化ガリウム(GaN)基板直上における初期のカチオン秩序配列を引き継いだ上で,原子層レベルで交互に配列する超格子を自己形成することを解明した。

研究グループは,この研究成果について,混晶半導体の実力が最大限に引き出された高効率多機能発光素子の実現に寄与するものだとしている。

キーワード:

関連記事

  • 「エッジAI半導体を実現する3Dヘテロ集積技術」プロジェクトの対象技術と課題

    東北大、半導体3D集積の産学連携組織「T-CHIPS」発足 光チップの異種集積も視野

    東北大学は、半導体先端パッケージングと異種チップ集積技術の研究開発を推進するコンソーシアム「T-CHIPS」が発足したと発表した(ニュースリリース)。プロセッサーやメモリ、シリコンフォトニクスチップなど、異なる機能を持つ…

    2026.10.21
  • トルンプの2025/26年度年次報告書「semicon」の表紙

    トルンプ、2025年度のEUV事業は9.2%増 レーザー事業は減収

    ドイツのレーザー加工機大手TRUMPF(トルンプ)は、2026年6月30日に終了した2025/26年度の業績を発表した。グループ全体の売上高は前年度比0.2%増の43億4,000万ユーロとほぼ横ばいだったものの、受注高は…

    2026.10.16
  • 日立ハイテクとZEISS、高NA-EUV量産を支える電子線検査装置の開発を加速

     日立ハイテクとドイツの ZEISS社は、高NA-EUVの量産を支える検査装置として、次世代マルチビーム電子線検査装置の共同開発を加速させると発表した。(ニュースリリース)  半導体製造工程では、高品質なデバイス製造のた…

    2026.10.01
  • 【解説】半導体を支える「光」 熊本県立大の新学部から見る半導体とフォトニクスの接点

     熊本県立大学は2026年9月1日、文部科学大臣から「半導体学部半導体学科」の設置認可を受けた(ニュースリリース)。2027年4月に開設し、1学年60人、教員16人体制で半導体分野の人材育成に取り組む。  「半導体学部」…

    2026.09.23
  • 【解説】AIで「シリコンサイクル」は変わるのか

    半導体市場はこれまで、需要増を受けた増産が供給過剰を招き、価格下落や設備投資の抑制につながる「シリコンサイクル」を繰り返してきた。ところが生成AIの急速な普及によって、この波の形が変わる可能性が出てきた(関連記事)。 A…

    2026.08.12

新着ニュース

人気記事

編集部おすすめ

  • オプトキャリア