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3D白色干渉顕微鏡による三次元表面性状測定とその応用

近年の微細加工における精度の向上は目覚ましく,加工部品の表面に仕上げ加工を施し,機能性を付すことで付加価値を高めるプロセスが広く実用化されている。例えば表面加工によって摩擦を低減,または付加することで部品同士の動力伝達を […]
注目のレーザー塗膜除去技術

注目のレーザー塗膜除去技術

「橋梁などインフラ構造物の劣化塗装や錆を除去する下地処理技術にはショットブラストやディスクグラインダーが使用されているが,新たな工法を開発できないものか」─これを契機とし,建築・塗装工事を手掛けるトヨコー(静岡県富士市) […]

ギガフォトン,EUV集光ミラー反射率低下量を更新

ギガフォトンは,現在開発中のEUVスキャナー用レーザー生成プラズマ(LPP)光源について,最先端半導体量産ラインでの稼働を想定したパイロット光源にて集光ミラー反射率低下量-0.4%/Bplsを達成し,ボトルネック解消へ大 […]