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微細加工

微細加工の記事一覧

全28件中 1〜10件目を表示

  • 産総研ら，半導体のプラズマ加工ダメージを定量評価

    産業技術総合研究所（産総研）と名古屋大学は，半導体素子の劣化につながる微細加工ダメージの定量評価に成功した（ニュースリリース）。 シリコントランジスタの微細構造形成ではプラズマ加工プロセスが用いられており，その際に発生す...

    2024.08.29

  • 東工大ら，線幅7.6nmの半導体が可能な共重合体開発

    東京工業大学と東京応化工業は，電子デバイスの高性能化を志向した10nm以下の半導体微細加工を可能にする高分子ブロック共重合体の開発に成功した（ニュースリリース）。 近年の人工知能やクラウドサービスの目覚ましい発展，スマー...

    2024.08.27

  • 立命大，銅の微細構造を簡易形成する加工技術を開発

    立命館大学の研究グループは，銅の微細パターンを簡易的かつ高速に形成する加工技術の開発に成功した（ニュースリリース）。 銅は，その優れた電気特性から半導体素子の配線に広く使用されている。銅の微細パターンを形成するため，フォ...

    2024.01.26
  • ギガフォトン，微細アブレーション加工用光源を納入

    ギガフォトン，微細アブレーション加工用光源を納入

    ギガフォトンは，微細アブレーション加工用光源「G300K」を，パッケージ基板メーカーのオーク製作所に設置したと発表した（ニュースリリース）。 同社では半導体リソグラフィ用光源の技術を応用し，半導体後工程用の微細アブレーシ...

    2023.12.12

  • SP，微細加工用フェムト秒レーザーを発表

    米MKS Instrumentsは，赤外線（IR）の領域で500fs未満の超短パルスで200Wを超える出力，200μJを超えるパルスエネルギーを提供する産業用フェムト秒レーザー，Spectra-Physics「IceFy...

    2023.06.29

  • 東北大，グラフェン単層膜のレーザーナノ加工に成功

    東北大学の研究グループは，フェムト秒レーザーを使って炭素原子1層分の厚さからなるグラフェン膜を，100nm以下の精度で加工することに成功した（ニュースリリース）。 グラフェンを使ったデバイスを社会実装に導くには，グラフェ...

    2023.05.19

  • 東工大，レーザー加工でペンギン体表を再現

    東京工業大学の研究グループは，ペンギンの体表を模倣したリブレット（微小な列状突起の集合体）フィルムを製作し，流体摩擦抵抗を低減する効果を明らかにした（ニュースリリース）。 ペンギン羽毛の研究では，羽毛の保温効果や撥水効果...

    2022.08.30

  • 農工大ら，ガラスへのナノ周期構造形成を光で検出

    東京農工大学と産業技術総合研究所は，フェムト秒レーザー照射中のガラス表面の光学顕微画像から，周期が約200nmのナノ構造体が形成されていることを判別できる技術を開発した（ニュースリリース）。 ガラスの表面に，直接ナノ構造...

    2022.08.29

  • 京大ら，半導体微細加工に資する新規高分子を設計

    京都大学と東京工業大学は，次世代半導体微細加工材料として注目されているポリスチレン（PS）とポリメタクリル酸メチル（PMMA）によるブロック共重合体であるPS-block-PMMAのつなぎ目にオリゴペプチドを精密に導入す...

    2022.02.24

  • 京大ら，ありふれた有機分子からナノ細線を作製

    京都大学，量子科学技術研究開発機構，インド大学間加速器研究センターは，放射線がん治療などに有効な粒子線を用いて，ごくありふれた有機分子を自在にナノ空間内で凝固させ、数ナノメートル径の細線を形成することに成功した（ニュース...

    2021.06.30

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