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微細加工

微細加工の記事一覧

全28件中 21〜28件目を表示

  • 理研，レーザーで超高感度マイクロ流体SERSセンサーを作製

    理化学研究所（理研）は，異なるフェムト秒レーザー加工技術を融合することにより，ごく微量の有害物質をリアルタイムで検出できる「3次元マイクロ流体表面増強ラマン散乱（SERS）センサー」を開発した（ニュースリリース）。 表面...

    2018.05.02

  • 理研，X線光渦で回折限界以下の微細構造を形成

    理化学研究所（理研）は，X線自由電子レーザー（XFEL）施設「SACLA」のX線を絞ると同時に波面を制御しながら試料に照射すると，X線のビーム幅よりはるかに細い，回折限界以下の針状の微細構造を形成できることを示した（ニュ...

    2018.04.19

  • ショット，薄板ガラスへの精密加工技術を開発

    独ショットは，ガラスウエハーおよび薄板ガラスに精度の高い孔開け加工を実現する加工技術を開発したと発表した（ニュースリリース）。 今日の製造工程では，薄いウエハーの微細な孔開け加工に従来の機械加工技術を使っている。しかし，...

    2018.03.28

  • JASRIら，ナノメートル精度のX線集光鏡を開発

    高輝度光科学研究センター（JASRI），大阪大学，理化学研究所は共同で，大型放射光施設SPring-8において，ナノメートルの表面精度を持つ2次元楕円面鏡を作製し，楕円面鏡としては世界で最小の100nm集光ビームを実現し...

    2017.12.04

  • ウシオ，光による微細加工サービスを開始

    ウシオ電機は，同社が保有する光源や光学，リソグラフィなどの光技術を活用した「微細加工サービス」を，2017年11月1日より開始した（ニュースリリース）。 このサービスにおける微細加工の受託，および販売する機能部品は，11...

    2017.11.08

  • 香川大ら，塩による微細成膜・転写技術を確立

    香川大学と和歌山県工業技術センターの研究グループは，金属薄膜の結晶性制御にヘテロエピタキシャル成長を利用することにより，ナノ光学領域における表面電磁波（表面プラズモン）の光性能およびその微細加工精度を飛躍的に向上できる成...

    2017.02.21

  • 日立，イオンビーム応用装置製造事業をワイエイシイに譲渡

    日立製作所とワイエイシイ（YAC）は1月20日，日立の子会社である日立茨城テクニカルサービスのイオンビーム応用装置製造事業を，2017年2月1日付でYACに譲渡することで合意したと発表した（ニュースリリース）。 日立は，...

    2017.02.01

  • 東北大ら，サブ10nm・3次元フィン型Geトランジスタを作製

    東北大学の研究グループは，台湾の国立交通大學（NCTU），国立ナノデバイス研究所（NDL）と共同で，独自技術である超低損傷・中性粒子ビーム技術（加工，酸化プロセス）を用いた「高性能サブ10nm・３次元フィン型ゲルマニウム...

    2016.12.07

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