京大ら,半導体微細加工に資する新規高分子を設計

京都大学と東京工業大学は,次世代半導体微細加工材料として注目されているポリスチレン(PS)とポリメタクリル酸メチル(PMMA)によるブロック共重合体であるPS-block-PMMAのつなぎ目にオリゴペプチドを精密に導入することで,PS-block-PMMAの相分離下限分子量よりも低い分子量で長周期のラメラ構造の形成に成功した(ニュースリリース)。

混ざり合わない2種類の高分子をつなげたBCPは,同じ高分子同士が集まろうとして自己組織化を起こし,数十nmから数百nmの周期的規則構造を形成する。

このミクロ相分離と呼ばれる現象は2種類の高分子が混ざり合おうとしない反発力(偏析力)を表すχパラメーターと重合度(分子量)の積が,ある値以上にならないと起こらない。また,ミクロ相分離によって形成される規則構造の形態(ラメラ構造,円柱構造,球状構造など)は,両者のミクロドメインの体積分率によって決まり,規則構造の周期長は主に分子量によって決まる。

BCPを半導体材料として使う場合,基板に対する規則構造の配列配向制御,選択的な片成分除去,除去後の界面構造の粗さの低減など,様々な要件を満たす必要があることから,BCPの分子設計が鍵を握っている。とりわけ様々な特性バランスからPS-block-PMMAは最も有望なBCPの一つとして考えられている。

このPS-blockPMMAにおける大きな課題としてχパラメーターがそれほど大きくないために相分離させるためには高分子量体が必要であることが挙げられ,微細化を目指す上で低分子量体でも相分離させることが求められてきた。

ミクロ相分離は混ざり合わない高分子がお互いの界面をできるだけ減らすために起こる現象であり,相分離後に形成される界面にはBCPの「つなぎ目」が存在する。つなぎ目はBCPの分子全体から見るとマイナーな成分でありながら,BCPの相分離に大きな影響を与えると考えられ,これまでに両セグメントの界面に短いオリゴマーを導入して,低分子量PS-block-PMMAの相分離を促進する研究が報告されてきた。

今回研究グループは,アミノ酸6ユニットから成るオリゴペプチドをつなぎ目に導入することで,低分子量PS-block-PMMAの長周期ラメラ構造形成を実現した。その後の研究ではつなぎ目の構造が異なる10種類以上のPS-block-PMMAを系統的に合成し,つなぎ目の構造がほんのわずかに違うだけで,相分離挙動が変化することが分かっているという。

つなぎ目のオリゴペプチドの凝集とBCPの相分離が協調して自己組織化していると考えられ,研究グループでは半導体材料以外にBCPが用いられる材料(エラストマー材料,薬運搬材料,分散剤材料など)にも展開できるとしている。

キーワード:

関連記事

  • ギガフォトン,九州事務所にトレーニング用レーザー導入 半導体リソグラフィ用光源のサポート体制を強化

    ギガフォトンは、2026年6月に九州事務所内へトレーニング用レーザーを導入し、顧客サポート体制を強化すると発表した(ニュースリリース)。 近年、AI需要の拡大を背景に半導体産業の成長が続いており、今後も半導体関連投資の増…

    2026.05.29
  • 【解説】北海道発の光電融合パッケージ技術、半導体競争力強化の鍵となるか

    技術研究組合 最先端半導体技術センター(LSTC)が進める光電融合型パッケージ技術の研究開発は、日本の半導体戦略において重要な転換点を示している。ポスト5G時代におけるデータ通信量の爆発的増大と電力消費の課題に対し、電気…

    2026.05.05
  • 浜松ホトニクス、内部加工型レーザダイシング技術で文科大臣表彰を受賞

    浜松ホトニクス、内部加工型レーザダイシング技術で文科大臣表彰を受賞

    浜松ホトニクスは、令和8年度「科学技術分野の文部科学大臣表彰(科学技術賞・開発部門)」において、「内部加工型レーザダイシング技術の開発」で受賞したと発表した(ニュースリリース)。 同表彰は、社会経済や国民生活の発展に寄与…

    2026.04.17
  • LSTC、光電融合を加速する半導体パッケージ技術開発に着手

    技術研究組合 最先端半導体技術センター(LSTC)は、NEDOの「ポスト5G情報通信システム基盤強化研究開発事業」において、「光電融合を加速する半導体パッケージング技術開発と先端後工程拠点形成」が採択されたと発表した(ニ…

    2026.04.14
  • OFC 2026、AI需要が牽引する光電融合技術の最前線、過熱の中で見える次の課題

    OFC26(会期:2026年3月15日~19日/ロサンゼルス・コンベンションセンター)は会期2日目(現地時間3月18日)を迎え、展示会場とカンファレンスは引き続き強い熱気に包まれていた。初日のレポートでも触れた通り、生成…

    2026.03.19

新着ニュース

人気記事

編集部おすすめ

  • オプトキャリア