ギガフォトン,微細アブレーション加工用光源を納入

ギガフォトンは,微細アブレーション加工用光源「G300K」を,パッケージ基板メーカーのオーク製作所に設置したと発表した(ニュースリリース)。

同社では半導体リソグラフィ用光源の技術を応用し,半導体後工程用の微細アブレーション加工用光源を開発してきた。

最新ラインナップであるこの製品は,半導体パッケージサブストレートの加工用装置に接続されるKrF(248nm)のエキシマレーザーであり,高出力,高繰り返し,高稼働率,長寿命を実現しているという。

エキシマレーザーを使用した加工は,主に直径10μm以下の微細な穴あけやトレンチ加工を目的としており,今後サーバー向けを中心に増加が見込まれるチップレットを用いた2.5D/3Dパッケージの製造へ採用されることが期待されている。

同社は,半導体リソグラフィ用光源以外の分野におけるエキシマレーザーの用途について様々な可能性を探究してきた。今後も新たなプロセスの研究および開発を進めるとしている。

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