ギガフォトン,微細アブレーション加工用光源を納入

ギガフォトンは,微細アブレーション加工用光源「G300K」を,パッケージ基板メーカーのオーク製作所に設置したと発表した(ニュースリリース)。

同社では半導体リソグラフィ用光源の技術を応用し,半導体後工程用の微細アブレーション加工用光源を開発してきた。

最新ラインナップであるこの製品は,半導体パッケージサブストレートの加工用装置に接続されるKrF(248nm)のエキシマレーザーであり,高出力,高繰り返し,高稼働率,長寿命を実現しているという。

エキシマレーザーを使用した加工は,主に直径10μm以下の微細な穴あけやトレンチ加工を目的としており,今後サーバー向けを中心に増加が見込まれるチップレットを用いた2.5D/3Dパッケージの製造へ採用されることが期待されている。

同社は,半導体リソグラフィ用光源以外の分野におけるエキシマレーザーの用途について様々な可能性を探究してきた。今後も新たなプロセスの研究および開発を進めるとしている。

キーワード:

関連記事

  • 大同特殊鋼、赤外・赤色の高出力点光源LED素子を開発

    大同特殊鋼は、世界最高レベルの光出力を有した赤外(発光波長940nm)・赤色(発光波長650nm)の高出力点光源LED素子を開発した。また、同開発品を透明樹脂で封止した表面実装部品(SMD)も併せて開発した(ニュースリリ…

    2026.04.02
  • QDレーザ、本社を横浜市戸塚区へ移転

    QDレーザは、本社を横浜市戸塚区へ移転し、2026年4月13日より新本社での業務を開始する。これに伴い、代表電話番号およびFAX番号も変更となる。なお、各担当者のメールアドレスに変更はないとしている。今回の移転により、同…

    2026.03.12
  • 東大、遠赤色光の照射タイミング制御により植物工場レタスの収量と品質を両立する新手法を開発

    東京大学大学院農学生命科学研究科の矢守航准教授らの研究グループは、植物工場におけるサニーレタス栽培において、遠赤色光(Far-Red light: FR)を照射するタイミングを制御することで、「収量」と「品質」を同時に向…

    2026.03.10
  • OKIエンジニアリング、室内環境を再現する白色LED耐光劣化試験サービスを開始

    OKIグループで信頼性評価や環境保全の技術サービスを展開する沖エンジニアリング(OEG)は、白色LED光源を用いて材料や製品の耐光劣化を再現する「耐光劣化試験サービス」を2026年3月10日より開始する(ニュースリリース…

    2026.03.10
  • オキサイド、量子コンピュータ向け紫外レーザー光源の販売を開始

    オキサイドは、量子コンピュータ向け紫外レーザー光源の販売を開始した(ニュースリリース)。新製品は波長302nmの紫外レーザ光源で、Yb原子を用いる中性原子型量子コンピュータにおいて、Rydberg状態の生成に用いられる中…

    2026.03.10

新着ニュース

人気記事

編集部おすすめ

  • オプトキャリア