SP,微細加工用フェムト秒レーザーを発表

米MKS Instrumentsは,赤外線(IR)の領域で500fs未満の超短パルスで200Wを超える出力,200μJを超えるパルスエネルギーを提供する産業用フェムト秒レーザー,Spectra-Physics「IceFyre FS IR200レーザー」を発表した(ニュースリリース)。

この製品は,シングルショットから50MHzまでの幅広い繰返し周波数,TimeShiftプログラマブルバーストモード動作,パルスオンデマンド(POD)および位置同期出力(PSO)トリガーにより,卓越したパフォーマンスと優れた柔軟性を実現するという。

この製品は,先端エレクトロニクス,ディスプレー,クリーンエネルギー,医療用デバイスに用いられる,ガラス,ポリマー,金属,サファイア,多結晶ダイヤモンドや様々な材料などにおいて,要求の厳しい高速かつ高品質な微細加工など,多くの産業用途に適しているという。

特許出願中のこの製品は,MKSの経験とフェムト秒レーザー技術に基づいて構築されており,厳しい環境認定テストをクリアし,高い信頼性と低い維持コストを実現。完全に自動化され,コンピューター制御されたレーザーは,24/7運転においても出力,ビームパラメーター,およびビームポインティングにおいて並外れた安定性を示し,要求の厳しいアプリケーションに高精度と再現性を提供するとしている。

なお,この製品の「It’s in the Box」設計は,レーザーとコントロールエレクトロニクス部分を一体化し,簡便にインストールできるパッケージとなっている。

この製品はスペクトラ・フィジックスが,日本国内にて販売する。

この製品の主な特長は以下のとおり。
・最大>50W UVおよび>200W IRの最高平均出力
・最高品質の微細加工を実現するフェムト秒超短パルス
・優れたアブレーション効率での加工を引き出すTimeShiftプログラマブルバーストモード機能
・幅広い繰返し周波数
・正確なパルス制御のためのパルスオンデマンド(POD)および位置同期出力(PSO)トリガリング
・一貫性のあるIceFyre FSファミリー形状デザイン
・業界をリードするコストパフォーマンス
・「It’s in the Box」コンセプトによるコンパクト設計
・24/7運転を可能にする信頼性

この製品の主なアプリケーションは以下のとおり。
・ガラス加工
・OLED,AR/VR,microLEDディスプレー加工
・太陽電池スクライビング,穴あけ
・5G PCBの切断,穴あけ
・医療用デバイス加工
・ウェーハスクライビング,ダイシング
・セラミックス加工
・ファインメタル加工
・ポリマー切断

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