SP,微細加工用フェムト秒レーザーを発表

米MKS Instrumentsは,赤外線(IR)の領域で500fs未満の超短パルスで200Wを超える出力,200μJを超えるパルスエネルギーを提供する産業用フェムト秒レーザー,Spectra-Physics「IceFyre FS IR200レーザー」を発表した(ニュースリリース)。

この製品は,シングルショットから50MHzまでの幅広い繰返し周波数,TimeShiftプログラマブルバーストモード動作,パルスオンデマンド(POD)および位置同期出力(PSO)トリガーにより,卓越したパフォーマンスと優れた柔軟性を実現するという。

この製品は,先端エレクトロニクス,ディスプレー,クリーンエネルギー,医療用デバイスに用いられる,ガラス,ポリマー,金属,サファイア,多結晶ダイヤモンドや様々な材料などにおいて,要求の厳しい高速かつ高品質な微細加工など,多くの産業用途に適しているという。

特許出願中のこの製品は,MKSの経験とフェムト秒レーザー技術に基づいて構築されており,厳しい環境認定テストをクリアし,高い信頼性と低い維持コストを実現。完全に自動化され,コンピューター制御されたレーザーは,24/7運転においても出力,ビームパラメーター,およびビームポインティングにおいて並外れた安定性を示し,要求の厳しいアプリケーションに高精度と再現性を提供するとしている。

なお,この製品の「It’s in the Box」設計は,レーザーとコントロールエレクトロニクス部分を一体化し,簡便にインストールできるパッケージとなっている。

この製品はスペクトラ・フィジックスが,日本国内にて販売する。

この製品の主な特長は以下のとおり。
・最大>50W UVおよび>200W IRの最高平均出力
・最高品質の微細加工を実現するフェムト秒超短パルス
・優れたアブレーション効率での加工を引き出すTimeShiftプログラマブルバーストモード機能
・幅広い繰返し周波数
・正確なパルス制御のためのパルスオンデマンド(POD)および位置同期出力(PSO)トリガリング
・一貫性のあるIceFyre FSファミリー形状デザイン
・業界をリードするコストパフォーマンス
・「It’s in the Box」コンセプトによるコンパクト設計
・24/7運転を可能にする信頼性

この製品の主なアプリケーションは以下のとおり。
・ガラス加工
・OLED,AR/VR,microLEDディスプレー加工
・太陽電池スクライビング,穴あけ
・5G PCBの切断,穴あけ
・医療用デバイス加工
・ウェーハスクライビング,ダイシング
・セラミックス加工
・ファインメタル加工
・ポリマー切断

キーワード:

関連記事

  • 分子研など、フォノンポラリトンの超高速変化を可視化

    分子科学研究所と大阪公立大学などの研究チームは、ナノメートルサイズの空間を伝わる光と物質が結びついた状態「ハイパボリックフォノンポラリトン(HPhP)」が、光照射によって高速に変化する様子を直接可視化することに成功した(…

    2026.09.04
  • 理研など、次世代2µm固体レーザー向け高効率EUV光発生法を実証

    理化学研究所(理研)や宇都宮大学などの国際共同研究グループは、次世代の先端半導体製造に期待される「2µm固体レーザー」を用いた極端紫外(EUV)光の発生において、複数のレーザーを同時照射する「マルチレーザー照射法」の有効…

    2026.08.27
  • 東大と理研、フェムト秒軟X線ハイパースペクトル顕微鏡を開発

    東京大学と理化学研究所は、X線自由電子レーザー(XFEL)の単一パルスを用いて、試料の各位置を透過した軟X線のスペクトルを同時に取得するフェムト秒軟X線ハイパースペクトル顕微鏡を開発、実現に成功した(ニュースリリース)。…

    2026.08.21
  • Lumibird、Cilas株を売却しレーザー・メガジュール保守事業を取得

    仏Lumibirdは、Cilasおよび同社株主との間で、戦略的レーザー技術分野における包括的な契約を締結したと発表した(ニュースリリース)。契約には、Lumibirdが保有するCilas株式の売却、両社の長期的な産業協力…

    2026.08.06
  • DNP、輝度を最大約3倍に高めた高視認性パターンライトを発売

    大日本印刷(DNP)は、従来品と比べて輝度を最大約3倍に高めた小型照明装置「DNP高視認性パターンライト 固定設置タイプ」を開発し、2026年7月から試験販売を開始する(ニュースリリース)。明るい屋内施設や寒冷地などで、…

    2026.07.13

新着ニュース

人気記事

編集部おすすめ

  • オプトキャリア