Lumentum,産業向け3波長超短パルスレーザー発表

米Lumentum Holdingsは,産業用マイクロマシニング向け超短パルスレーザープラットフォーム「 PicoBlade Core」を発表した(ニュースリリース)。

この製品は,赤外(IR),グリーン,紫外(UV)の各波長に対応し,高出力・中出力・低出力の構成を1つのコンパクトな筐体に統合。前世代の製品と比較して3分の1の軽量化,サイズは半分を実現した。

プリント基板,バッテリーセル,太陽電池,民生用電子機器など,幅広い量産製造ラインにおいて高スループットかつ高精度なマイクロ加工を可能にするという。

・最大150Wの平均出力,12ピコ秒未満のパルス幅,8MHzの繰り返し周波数,375μJのパルスエネルギーを実現し,3波長で最適なスループットと精度を提供
・IR,グリーン,UV全モデルでコンパクトな設計を統一し,装置への組み込みが容易
・クローズドループ電力制御により,高いパルス安定性と長期信頼性を実現
・非線形光学を内蔵し,外部モジュール不要で多波長動作が可能
・ビーム整形機能により材料との相互作用を最適化し,熱影響を最小化
・高度なパルス制御技術を搭載し,冷却アブレーション,高アスペクト比穴あけ,表面加工が可能

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