ダイトロンは、レーザーチップの端面をシートに貼り付けた状態のまま観察できる撮像検証機「DAVI-1300SV」を紹介していた。
同社は、販売部門と製造部門のそれぞれ担う2つの社内カンパニーを置いており、今回は製造部門の「D&Pカンパニー」による展示となった。
一般的な外観検査装置でチップの端面を確認する場合、チップをシートから取り外し、別のステージへ搬送した上で、横方向から観察する必要がある。一方、同装置は、シート上の斜め方向から撮像することで、シートに貼り付けた状態のまま端面を観察できる。
斜め方向から撮影した画像については、エリアごとに最適な焦点位置で撮影した画像を合成し、全体を鮮明に表示する。斜面へのフォーカス合わせや合焦判定にも対応するほか、斜めから撮影した画像を、横方向から観察したような画像へ補正できる。寸法補正を含む斜め補正にも対応しており、端面の状態や欠陥の位置を確認しやすくしている。
また、複数の画像を結合することで、高解像度と広視野の撮像を両立する特許技術を採用した。チップ側面の細かな状態を捉えながら、シート上の広い範囲を効率的に検査できるとしている。
これにより、チップを移し替える工程を省くことができ、移載時に生じる傷や破損などのリスクを抑えながら検査を行なえる点を特徴としている。
同装置はレーザーチップ製造工程における品質管理用途として提案している。このため、加工後の端面を精密に確認したいというニーズがあり、同装置はレーザーチップの品質管理や製造工程における検査への活用を想定している。
