ニコンソリューションズは，半導体デバイスをはじめとした，電子部品などの寸法を自動で測定できる画像測定システム「NEXIV VMF-K」シリーズを発売すると発表した（ニュースリリース）。受注開始は2024年12月。
半導体デバイスの微細化・高集積化が進む中，その品質を維持するための検査工程はますます重要になっている。
この製品は，光学系のメカ設計見直しにより，高さ測定のスキャンスピードが向上。これにより，従来機種と比較し，約1.5倍のスループット向上を実現。また，従来の30倍に加えて，高倍率の45倍モデルをラインナップに追加した。半導体の最先端アドバンスドパッケージにおける，2μm以下の微細な回路線幅の測定ニーズに応えるという。
さらに，コンフォーカル光源のLED化による長寿命化や，半導体製造装置の安全基準に関する規格「SEMI S2/S8」に対応している。測定終了までの残り時間表示機能を追加し，ブラック，シルバーを基調としたファクトリーデザインに外観を一新している。
主な仕様は以下の通り。
| 型番 | VMF-K3040 | VMF-K6555 |
|---|---|---|
| ストローク （X × Y × Z） | 300x400x150 mm | 650x550x150 mm |
| 精度保証質量 | 20 kg | 30 kg |
| 測定精度 （Lは測定長さ（mm）） | Eux, MPE Euy, MPE ±(1.2 + 4L/1000) μm Euxy, MPE ±(2.0 + 4L/1000) μm Euz, MPE ±(1 + L/1000) μm | |
| 光学倍率 | 1.5x/3.0x/7.5x/15x/30x/45x | |
| 視野 （コンフォーカル光学系） | 1.5x：7.80×5.82 mm 3.0x：3.90×2.91 mm 7.5x：1.56×1.17 mm 15x：0.78×0.58 mm 30x：0.39×0.29 mm 45x：0.26×0.19 mm | |
| 視野※ （明視野光学系） ※電動5段階ズーム | 1.5x：7.80×5.85~0.52×0.39 mm 3.0x：3.90×2.92~0.26×0.19 mm 7.5x：1.56×1.17~0.10×0.078 mm 15x：1.26×0.95~0.099×0.074 mm 30x：0.63×0.47~0.052×0.039 mm 45x：0.63×0.47~0.052×0.039 mm | |
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