エドモンド,精密紫外用ミラーを発売

エドモンド・オプティクス・ジャパンは,「TECHSPEC® 精密紫外用ミラー」の発売を開始した(製品ページ)。

このミラーは,深紫外(DUV)と真空紫外(VUV)用の2つのコーティングオプションを選ぶことができる。商用向けに販売される様々な光源への使用,蛍光顕微鏡や分光分析を始めとする,UV光反射のための多様な光学セットアップに最適だとしている。

このミラーのDUVコーティングバージョンは,190nmから長波赤外(LWIR)までに優れた反射率があり,新たなVUVコーティングバージョンのミラーは,120nmからLWIRまでの反射に最適化されている。また,0°の入射角度で設計されており,特定設計波長で78%以上の反射率を備える。

合成石英基板により製造され,低偏光依存性のアルミ膜ベースのコーティングを採用。λ/10の平面度と 10-5の表面品質(キズ-ブツ)を備え,優れた精密度を提供する。深紫外(DUV)及び新たな真空紫外(VUV)用反射強化アルミコートのそれぞれに,直径12.5nm,25nm,50nmの全6種類をラインナップする。

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