ギガフォトン,アニール向けKrFエキシマレーザーを開発

著者: sugi

ギガフォトンは,半導体リソグラフィ用エキシマレーザーを応用した,アニール向け新型KrFエキシマレーザーの開発に成功し,11月にはパネルメーカーの量産ラインにて評価を開始したと発表した(ニュースリリース)。

これは,新ブランド「GIGANEX」シリーズの一環となるもので,同社が創業以来培ったKrF技術を活かした製品。

このKrFエキシマレーザーは600Wの高出力仕様であり,大型パネルの高画質化への需要が高まる国内外のパネルメーカーからアニール用光源として大きな期待を寄せられているという。同社は,このKrFエキシマレーザーの量産機を2017年夏に出荷することを目指している。

キーワード:

関連記事

  • 2026年以降の半導体成長を支える技術基盤とは

    生成AIの急速な普及や、様々なモノの電動化の進展を背景に、半導体市場は2026年以降も中長期的な成長軌道を描くと見込まれている。先端ロジック半導体では、AI処理能力のさらなる高度化に向けて微細化競争が続く一方、電力インフ…

    2026.01.05
  • ギガフォトン、先端半導体パッケージ用加工向けエキシマレーザーを日本企業に設置

    ギガフォトンは、半導体パッケージ加工向けエキシマレーザーを日本国内で最先端半導体の研究開発を行なう企業に納入し、11月に装置の設置を完了したと発表した(ニュースリリース)。今回の設置では、同社の最新光源となる『G300K…

    2025.12.08
  • アマダ,ブルーレーザーを搭載した3次元レーザー統合システムの受注を開始

    アマダは,3次元レーザー統合システム「ALCIS-1008e」のブルーレーザー発振器・スキャナーヘッド仕様の正式受注を開始した(ニュースリリース)。 「ALCIS(AdvancedLaserCubeIntegratedS…

    2025.11.07
  • 東大ら,MoS2エッジ表面加工の分光測定に成功

    東京大学,東北大学,京都大学は,レーザー加工と顕微分光を用いることで,触媒活性サイトが存在していると考えられてきた二硫化モリブデン(MoS2)のエッジ表面における電子状態と化学反応を選択的に直接観測することに成功した(ニ…

    2025.10.30
  • 【探訪記】最新レーザー技術を体感する,IPG「Fiber Laser Days」レポート

    IPGフォトニクスジャパンは7月25日,愛知県安城市にある中部テクニカルセンターにて,同社の製品・技術を紹介する見学会「Fiber Laser Days」を開催した。同センターは同社のレーザーを用いた加工試験を実際の材料…

    2025.09.18
  • 東大ら,ガラスへの穴あけ加工を100万倍高速化

    東京大学とAGCは,従来の100万倍高速かつ超精密に,ガラスなどの透明材料を加工できる手法を開発した(ニュースリリース)。 ガラスへのエッチングを使わない加工技術として,レーザー加工が注目されている。研究グループは201…

    2025.06.13
  • 東大,半導体ガラス基板へ微細レーザー穴あけを実現

    東京大学の研究グループは,半導体基板用ガラスへの極微細レーザー穴あけ加工技術を開発した(ニュースリリース)。 露光技術の進歩に伴い,半導体チップは微細化するとともに大面積化も進んでいる。それとともに,半導体チップを実装す…

    2025.06.02
  • santec,1kW対応近赤外レーザー加工用LCOS発売

    santec,1kW対応近赤外レーザー加工用LCOS発売

    santec AOCは,1kWクラスの近赤外線レーザー加工向けLCOS型空間光変調器「SLM-310」を発表した(ニュースリリース)。 反射型LCOS(Liquid crystal on silicon)空間光変調器(S…

    2025.05.27

新着ニュース

人気記事

新着記事

  • オプトキャリア