ギガフォトン,アニール向けKrFエキシマレーザーを開発

ギガフォトンは,半導体リソグラフィ用エキシマレーザーを応用した,アニール向け新型KrFエキシマレーザーの開発に成功し,11月にはパネルメーカーの量産ラインにて評価を開始したと発表した(ニュースリリース)。

これは,新ブランド「GIGANEX」シリーズの一環となるもので,同社が創業以来培ったKrF技術を活かした製品。

このKrFエキシマレーザーは600Wの高出力仕様であり,大型パネルの高画質化への需要が高まる国内外のパネルメーカーからアニール用光源として大きな期待を寄せられているという。同社は,このKrFエキシマレーザーの量産機を2017年夏に出荷することを目指している。

キーワード:

関連記事

  • 日本電子、レーザー加工SEMシステム「LazEdge」を発売

    日本電子は、レーザー加工装置を搭載した走査電子顕微鏡(SEM)システム「LazEdge(レイズエッジ)」を開発し、2026年5月25日より販売を開始した(ニュースリリース)。本システムは、同社のSEMに浜松ホトニクス社製…

    2026.06.02
  • ギガフォトン,九州事務所にトレーニング用レーザー導入 半導体リソグラフィ用光源のサポート体制を強化

    ギガフォトンは、2026年6月に九州事務所内へトレーニング用レーザーを導入し、顧客サポート体制を強化すると発表した(ニュースリリース)。 近年、AI需要の拡大を背景に半導体産業の成長が続いており、今後も半導体関連投資の増…

    2026.05.29
  • セブンシックス、オムロンからレーザー加工技術を譲受

    セブンシックスは2026年3月31日付で、オムロンからレーザー加工関連技術および資産を譲り受けたと発表した(ニュースリリース)。 今回の譲受には特許11件を含む知的財産に加え、設計・製造関連資産,ソフトウェア、図面、保守…

    2026.04.10
  • 【解説】オキサイド、半導体後工程向けレーザー加工装置事業を強化

    オキサイドは、台湾のレーザー微細加工装置メーカーBoliteと業務提携に関する基本合意を締結し、半導体後工程向けレーザー加工装置事業の強化に乗り出す。これまで同社は深紫外レーザーなどの光源技術を活かし、主に半導体前工程の…

    2026.03.17
  • 2026年以降の半導体成長を支える技術基盤とは

    生成AIの急速な普及や、様々なモノの電動化の進展を背景に、半導体市場は2026年以降も中長期的な成長軌道を描くと見込まれている。先端ロジック半導体では、AI処理能力のさらなる高度化に向けて微細化競争が続く一方、電力インフ…

    2026.01.05

新着ニュース

人気記事

編集部おすすめ

  • オプトキャリア